팹 램프용 석영 유리 실드

7×24시간 가동되는 생산 라인에서는, 램프가 고장났다고 해서 그냥 멈추는 것이 아닙니다. 열적 안정성이 깨지고, 포토레지스트의 성질도 변하게 되어, 다시 작업을 반복해야 합니다. 석영 유리로 만들어진 이 보호 장치는, 반복적인 열주기에도 불구하고 노출 및 가열 에너...