레이볼드 진공 히터 예비 부품

제조 현장에서 소프트 베이크 또는 하드 베이크 중 열적 변동은 수율에 단순히 영향을 미치는 것이 아니라, 그것을 파괴합니다. Leybold 진공 히터가 드리프트를 시작하면 포토레지스트 프로파일이 붕괴되고, CD 균일성이 흔들리며, 에칭 바이어스가 발생합니다. 우리는...