매트슨 RTP 램프 교체

램프가 Mattson RTP 장비에서 고장 나면 단순한 가동 중단 이상의 문제입니다. 열 예산을 잃게 되고, 포토레지스트의 베이크 프로필이 변화하며, 갑자기 파티클 발생이 심해져 로트를 폐기할 위험에 직면하게 됩니다. 공정을 재검증해야 하는 임시 방편이 필요하지 않습...