옥스퍼드 인스트루먼츠 히터 요소

리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크 과정에서 단 0.5도만의 오차가 생겨도 CD들의 위치가 변할 수 있다는 것을 빠르게 깨닫게 됩니다. 하드 베이크 과정에서 온도를 너무 높이면, 제품의 품질이 저하되고 수율도 떨어집니다. 열 제어는 단순한 설정값 조절이 아니라, 패...