열을 낭비하지 마세요: 금으로 된 반사체가 왜 중요한지 웨이퍼 가공 과정에서 낭비되는 1와트의 에너지도 결국은 돈의 낭비에 불과합니다. 게다가 그러한 열은 챔버의 벽을 손상시키고 오염 위험을 초래할 수 있습니다. 대부분의 일반적인 히터들은 에너지를 제대로 전달하지 못...

파편을 막아내는 방법: MEMS 웨이퍼를 깨끗하게 유지하기 MEMS 제조 공장에서는 적외선 램프가 단순히 성가신 존재가 아닙니다. 그것은 진짜 악몽과 같습니다. 만약 석영관이 과도한 부하를 견디지 못한다면 어떻게 될까요? 그렇게 되면 램프가 폭발하여 웨이퍼 표면에 작...

클래스 100 클린룸을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100 클린룸을 운영할 때, 웨이퍼를 가열하는 과정에서 생기는 조금의 먼지나 기체도 단순한 성가심에 그치지 않습니다. 이는 심각한 문제가 될 수 있습니다. 일반적인 가열 요소들은 이러한 상황을 감당할 수 없습...

기계를 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 가열하는 데 에너지를 사용해야 합니다. 웨이퍼 가열 장치를 설정할 때는, 에너지가 실리콘에 직접 전달되도록 해야 합니다. 케이스 안으로 에너지가 스며들어서는 안 됩니다. 문제는 일반적인 적외선 램프들이 열을 사방으로 방출한다는...

와이어 처리 과정에서의 전기 안전에 대해 이야기해 보겠습니다. 와이어를 처리할 때는 두 가지가 필요합니다. 바로 완벽하게 골고루 퍼지는 열과 전기 누설이 전혀 없는 상태입니다. 이를 위해 우리는 고반사율을 가진 케이스를 사용하여 IR 에너지가 정확히 필요한 곳으로 전...

방향성 적외선 가열: 웨이퍼 처리 과정에서 필요한 부위에만 열을 공급하여 작업자들이 화상을 입지 않도록 하는 방법 반도체 장비의 문제점은 간단합니다. 바로 불필요한 열입니다. 이 불필요한 열은 에너지를 낭비시키고 비용을 증가시킬 뿐만 아니라, 장비의 외부 부분을 위험...

솔더 마스크 건조 과정에서는 온도를 서서히 높이는 것이 아니라, 일정한 조건을 유지해야 합니다. 1.5°C의 온도 변동만으로도 웨이퍼 전체의 두께에 차이가 생기고, 그로 인해 다음 리소그래피 공정이 중단될 수 있습니다. 결함이 없는 제품을 생산하려면, 이러한 열 처리...

웨이퍼가 최종 세척 과정을 거칠 때의 모습을 보면, 시간이 얼마 남지 않았음을 알 수 있습니다. 만약 가열이 늦게 이루어지거나 균일하지 않다면, 물자국이 생기거나 포토레지스트가 손상되어 생산 효율이 급격히 떨어집니다. 우리는 이러한 문제를 사전에 방지하기 위해 웨이퍼...