열을 낭비하지 마세요: 금으로 된 반사체가 왜 중요한지
웨이퍼 가공 과정에서 낭비되는 1와트의 에너지도 결국은 돈의 낭비에 불과합니다. 게다가 그러한 열은 챔버의 벽을 손상시키고 오염 위험을 초래할 수 있습니다.
대부분의 일반적인 히터들은 에너지를 제대로 전달하지 못합니다. 에너지가 필요한 곳이 아닌 다른 곳으로 흘러나갑니다. 우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 바로 금으로 코팅된 반사체입니다. 이를 통해 열이 흩어지는 것을 막고, 다시 웨이퍼 쪽으로 반사됩니다.
왜 금인가?
그건 단순히 멋져 보이기 위한 것이 아닙니다. 물리학적 원리 때문입니다.
금은 적외선을 매우 잘 반사합니다. 일반적인 알루미늄이나 스테인리스 스틸보다 훨씬 효과적입니다. 반사체에 고순도 금층을 입히면, 평소라면 사라질 빛들을 다시 목표물 쪽으로 보낼 수 있습니다.
그 결과, 열이 훨씬 집중되고, 가열 속도도 훨씬 빨라집니다. 정말 효과적입니다.
열과 에너지 관리
실리콘 웨이퍼가 정확하고 균일한 온도에 도달하려면 밀도가 중요합니다.
우리는 열원과 기판 사이의 거리를 가능한 한 짧게 유지합니다. 에너지가 집중되기 때문에 전체적인 에너지 소비량을 줄일 수 있으면서도 목표 온도에 도달할 수 있습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 쿨링 시스템을 잘 관리해야 합니다. 너무 많은 에너지가 한 점에 집중되면 반사체가 손상될 수 있습니다. 쿨링 시스템이 그 부담을 감당하지 못하면 센서의 오차가 생기고, 정밀도가 떨어집니다.
시스템의 안정적인 작동 유지
다운타임은 최악의 상황이므로, 우리는 빠르게 교체할 수 있는 시스템을 만들었습니다.
하지만 효율성을 유지하는 진짜 비결은 청결입니다. 금은 훌륭하지만, 먼지나 산화 작용은 치명적입니다. 표면이 더러워지면 웨이퍼에 과열 현상이 발생할 수 있습니다.
따라서 엄격한 청소 절차를 준수해야 합니다. 마모성이 없는 용매를 사용하여 코팅을 손상시키지 않아야 합니다. 금층이 얇아지면 효율성이 떨어집니다. 그러면 더 많은 에너지를 사용해야 하고, 그 결과 램프가 더 빨리 소모됩니다.