진공 상태에서 적외선 히터를 사용할 때의 문제점은 물리적 조건이 달라진다는 점입니다. 일반적인 공기 중에서는 히터 주변의 기체들이 전기가 제대로 흐르도록 도와줍니다. 하지만 진공 상태가 되면 그러한 안전 장치가 사라집니다. 그 결과, 강력한 전기 아크가 발생할 위험이...

스마트 팹에서 적절한 온도를 유지하는 방법 인더스트리 4.0을 위한 스마트 팹을 구축한다면, 이제는 기존의 전통적인 가열 방식으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 그런 전통적인 저항식 히터들은 반응 속도가 너무 느립니다. 생산 라인이 디지털화되어 매우 빠...

제조 현장에서 소프트 베이크 또는 하드 베이크 중 열적 변동은 수율에 단순히 영향을 미치는 것이 아니라, 그것을 파괴합니다. Leybold 진공 히터가 드리프트를 시작하면 포토레지스트 프로파일이 붕괴되고, CD 균일성이 흔들리며, 에칭 바이어스가 발생합니다. 우리는...