글로브박스 적외선 히터 소자
글러브박스를 가열하면서도 폭발을 막는 방법
솔직히 말해서, 인화성이 높은 청소 용제가 들어 있는 글러브박스 안에 적외선 히터를 넣는 것은 위험한 일입니다. 작은 스파크나 표면 온도의 급격한 상승만 있어도 즉시 화재가 발생할 수 있습니다. 일반적인 석영 램프로는 이런...
교체용 발열체 IP65
화장실 히터를 적절하게 설정하는 방법
적절한 와트수의 적외선 램프를 선택하는 것은 그리 어렵지 않습니다. 하지만 이는 중요한 문제입니다. 너무 성능이 좋은 램프를 작은 공간에 사용한다면, 전기 낭비가 심해질 뿐만 아니라 장비가 과열될 위험도 있습니다. 반대로 성능이...
옥스퍼드 인스트루먼츠 히터 요소
리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크 과정에서 단 0.5도만의 오차가 생겨도 CD들의 위치가 변할 수 있다는 것을 빠르게 깨닫게 됩니다. 하드 베이크 과정에서 온도를 너무 높이면, 제품의 품질이 저하되고 수율도 떨어집니다. 열 제어는 단순한 설정값 조절이 아니라, 패...
반도체 가공용 히터 소자
팹 내에서는 포토레지스트를 가열할 때 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 양질의 제품이 폐기물로 전락할 수 있습니다. 웨이퍼들은 그저 기다릴 뿐입니다. 일정도 지연되고, 입자 수도 증가합니다. 우리는 이러한 손실을 미리 막기 위해 반도체 처리용 히터를 개발했습니다....