화장실 히터를 적절하게 설정하는 방법 적절한 와트수의 적외선 램프를 선택하는 것은 그리 어렵지 않습니다. 하지만 이는 중요한 문제입니다. 너무 성능이 좋은 램프를 작은 공간에 사용한다면, 전기 낭비가 심해질 뿐만 아니라 장비가 과열될 위험도 있습니다. 반대로 성능이...

램프가 Mattson RTP 장비에서 고장 나면 단순한 가동 중단 이상의 문제입니다. 열 예산을 잃게 되고, 포토레지스트의 베이크 프로필이 변화하며, 갑자기 파티클 발생이 심해져 로트를 폐기할 위험에 직면하게 됩니다. 공정을 재검증해야 하는 임시 방편이 필요하지 않습...