내구성이 뛰어난 포토레지스트 가열기

팹에서는 포토레지스트의 건조 과정을 단순히 온도만으로 판단하지 않습니다. 오히려 가동 시간, 입자 발생량의 변동 여부, 그리고 수천 개의 웨이퍼 전반에 걸친 CD 일관성을 기준으로 평가합니다. 만약 건조용 히터에 문제가 생기면 생산이 중단되며, 그 과정에서 제품과 열...