웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

기계를 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 가열하는 데 에너지를 사용해야 합니다. 웨이퍼 가열 장치를 설정할 때는, 에너지가 실리콘에 직접 전달되도록 해야 합니다. 케이스 안으로 에너지가 스며들어서는 안 됩니다. 문제는 일반적인 적외선 램프들이 열을 사방으로 방출한다는...