用于冲洗的防水红外线灯

如何最大限度地发挥晶圆清洗与干燥功能 在运行清洗站时，目标其实很简单：让晶圆尽快完全干燥，同时避免晶圆被过度加热，或表面附着杂质。 为此，我们使用了防水型红外线灯。不过，真正的秘诀并不在于灯本身，而在于与它们配套使用的镀金反射器。 普通铝制反射器的效果虽尚可，但它们会吸收过多的能量。而镀金反射器则...