MEMS传感器晶圆干燥加热器

阻止碎片飞溅：保持MEMS晶圆清洁 在MEMS制造过程中，红外灯的损坏可不是小事——那简直就是一场噩梦。想象一下，当石英管在重压下破裂时，它不仅会停止工作，还会爆炸，让细小的玻璃碎片和金属颗粒散落在晶圆表面。这样一来，晶圆的合格率就会下降。我们专门设计了高效的红外加热器，就是为了防止这种情况发生。...