节能型晶圆加热器
别再浪费热量了:为何金质反射器如此重要 在芯片加工过程中,每浪费一瓦特的能量,其实就等于白白浪费了金钱。更糟糕的是,这些多余的热量还可能损坏腔室壁面,从而带来污染风险。
大多数普通加热器都存在能量泄漏的问题——它们会把能量散失到不必要的地方。我们找到了更好的解决方案:使用镀金反射器。这样,热量就不...
节能型半导体加热器
为何我们放弃传统烤箱,转而使用红外线固化技术 在半导体行业,人们终于开始抛弃那些老旧的对流式烤箱。这主要是因为大家都在努力实现“无铅化”和绿色能源的目标,但真正的原因是:传统方法效率实在很低。
想象一下普通烤箱的工作原理:首先需要加热空气,然后再加热烤箱的墙壁,最后才是被加热的材料。这一过程浪费了...
节能型空间加热器
我们致力于打造一种既可靠又经济实用的红外取暖器。这款产品的设计理念就是让人们在庭院、车间或室内通风不良的角落里也能享受舒适的温暖,而无需担心高昂的能源费用或设备损坏的问题。
其内部结构如何? 这款电热红外取暖器依靠辐射热来供暖,因此它能直接为人和物体供暖,而非先加热空气。内部采用碳纤维元件,能够快...
减少晶圆厂干燥过程中的能耗
在晶圆厂车间,干燥线每消耗的一瓦电力都会被严格审查。能源成本不能攀升到必须拿光刻胶完整性冒险的程度。如果热均匀性出现偏差,会导致线宽控制和缺陷表现失控。我们的干燥平台旨在降低晶圆厂干燥的能耗,同时保持工艺线处于零容忍范围内。
设备核心要点
我们将近红外(NIR)光源与闭环控制配合使用,实现整个烘烤...