减少晶圆厂干燥过程中的能耗

在晶圆厂车间，干燥线每消耗的一瓦电力都会被严格审查。能源成本不能攀升到必须拿光刻胶完整性冒险的程度。如果热均匀性出现偏差，会导致线宽控制和缺陷表现失控。我们的干燥平台旨在降低晶圆厂干燥的能耗，同时保持工艺线处于零容忍范围内。 设备核心要点 我们将近红外（NIR）光源与闭环控制配合使用，实现整个烘烤...