光刻胶预烘红外加热器

在生产车间，您知道风险所在。在光刻胶软烘烤过程中，1°C 的温度波动可能在曝光之前就会导致 300mm 晶圆报废。传统的热板在边缘卷曲方面存在问题，热滞后导致批次间重复性困难。您需要一种热处理方法，能够与旋涂保持同步，并在光刻时达到目标。 底层重要因素 我们使用红外加热器进行光刻胶预烘烤：快速、辐...