专用晶圆红外加热器

在光刻工艺中，人们很快就会意识到：在光阻烘烤过程中，即使是0.5℃的温度偏差，都可能导致图案精度下降；而颗粒物的存在则可能毁掉大量晶圆。因此，晶圆的加热过程必须具有重复性、精确性且迅速——每一个循环、每一批产品都是如此，没有例外。 关键因素 我们为晶圆处理量身定制了红外加热器，根据不同的热需求选择...