ASML 光刻机灯备用件

在晶圆厂车间，灯泡故障不是停机，而是报废。当ASML光刻机的灯泡性能下降时，软烘烤阶段会漂移，线宽控制失准，良率受损。我们设计的这款ASML光刻灯泡备件能精确控制热预算，即使全天候24/7运行，也能保持工艺规格稳定。 技术关键点 这些备件确保温度重复性，晶圆级均匀性控制在±0.1℃以内。这一点至关...