阻止碎片飞溅：保持MEMS晶圆清洁 在MEMS制造过程中，红外灯的损坏可不是小事——那简直就是一场噩梦。想象一下，当石英管在重压下破裂时，它不仅会停止工作，还会爆炸，让细小的玻璃碎片和金属颗粒散落在晶圆表面。这样一来，晶圆的合格率就会下降。我们专门设计了高效的红外加热器，就是为了防止这种情况发生。...

如何让100级洁净室保持清洁状态 在运营100级洁净室时，哪怕有一粒微小的灰尘或一股异常的气体出现，那都可能带来灾难性的后果。因为大多数普通加热元件根本无法应对这种情况——它们在受热时会膨胀和收缩，这种不断的运动会导致微粒的产生，从而影响产品的质量。 为了解决这个问题，我们使用高纯度的合成石英来制...

如何保持100级洁净室的清洁状态 在包装智能传感器时，所谓的“几乎干净”是远远不够的。必须做到完全没有污染，没有例外。 问题在于，大多数加热元件在100级洁净环境中会引发问题。它们会释放出颗粒物，还会泄漏挥发性有机化合物。实际上，它们就像是在工作区域里散布看不见的“垃圾”。 因此，我们选择使用高纯...

定向红外加热：如何让晶圆加工设备在需要加热的位置保持高温——同时避免损坏操作人员的眼睛 在半导体设备中，问题其实很简单：多余的热量就像小偷一样，会浪费能量、增加成本，还会使设备外部区域变成危险地带。 我们设计了红外加热灯来解决这个问题。它能将热量精准地输送到工艺所需的位置，而不会影响到设备的其他部...