牛津仪器加热元件

在光刻生产中，人们很快就会明白：如果软烘烤时的温度偏差达到半度，就会导致CD的尺寸出现变化。而如果硬烘烤的温度过高，则会导致表面出现瑕疵，进而降低产品的良率。温度控制并非一个可以随意调整的参数——它实际上是对涂层厚度、线条宽度以及缺陷率的严格约束。牛津仪器的加热元件正是为应对这些挑战而设计的，能够...