无臭氧红外线灯

在制造过程中，如果烘烤温度出现几度的偏差，就可能导致关键尺寸控制失控，进而使光刻胶性能下降，好晶圆也会变成废品。因此，我们设计了无臭氧的红外灯，以此来应对这一问题，而非事后补救。其目标是提供稳定的热量，确保晶圆在烘烤过程中不会因温度波动而受到影响。 真正重要的是在负载条件下的重复性。我们的近红外发...