ในห้องปฏิบัติการที่ใช้เทคโนโลยีลิโธกราฟี คุณจะได้เรียนรู้อย่างรวดเร็วว่า การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.5°C ระหว่างขั้นตอนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ ก็อาจส่งผลให้การวางตำแหน่งของวัสดุผิดเพี้ยนได้ และการมีอนุภาคสกปรกในบริเวณนั้นก็อาจทำให้วัสดุชิ้นงานเสียหายได้มากมาย ดังนั้น การอบวัสดุจึงต้องทำอย่างมีความแม่นยำ สะอาด และรวดเร็ว ไม่มีข้อยกเว้นเลย
สิ่งที่สำคัญจริงๆ
เราออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดสำหรับการประมวลผลวัสดุโดยเฉพาะ โดยใช้เครื่องกำเนิดคลื่นความถี่สั้นหรือความถี่กลาง เพื่อให้เหมาะสมกับข้อกำหนดด้านความร้อนของแต่ละกระบวนการ ในบริเวณที่มีการอบวัสดุ เราพยายามรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1°C โดยใช้เวลาตอบสนองต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิไม่เกิน 2 วินาที เปลือกของเครื่องทำความร้อนทำจากควอตซ์และเซรามิกคุณภาพสูง และจุดต่อต่างๆ ก็ถูกปิดสนิทเพื่อป้องกันไม่ให้มีก๊าซหรือสิ่งสกปรกเข้ามา
ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 เราออกแบบระบบเพื่อลดการเกิดอนุภาคสกปรกให้น้อยที่สุด โดยไม่มีกระแสอากาศพัดผ่านบริเวณที่มีการอบวัสดุ และเรายังมีระบบจับอนุภาคภายในอีกด้วย การควบคุมอุณหภูมิทำผ่านระบบปิด โดยใช้เซ็นเซอร์ที่มีความแม่นยำสูง เพื่อให้กระบวนการอบวัสดุมีความสม่ำเสมอในทุกครั้งที่ทำ
ทำไมสิ่งนี้ถึงสำคัญในกระบวนการประมวลผลโฟโตรีซิสต์
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิเป็นปัจจัยสำคัญที่ช่วยให้สามารถควบคุมความหนาของชั้นวัสดุได้อย่างแม่นยำ และลดการต้องทำงานซ้ำ ด้วยความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ดี คุณจะได้ชั้นวัสดุที่มีความหนาสม่ำเสมอ และลดการต้องปรับแต่งค่าการอบวัสดุอีกด้วย
การตอบสนองทางอุณหภูมิที่รวดเร็วจะช่วยลดจำนวนขั้นตอนการอบวัสดุ โดยไม่ทำให้อุณหภูมิสูงเกินไป ดังนั้น ประสิทธิภาพการผลิตจึงดีขึ้น และวัสดุก็จะได้รับการปกป้องได้ดีขึ้นด้วย นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะเครื่องกำเนิดความร้อนจะทำหน้าที่ทำให้อุณหภูมิของวัสดุสูงขึ้นเท่านั้น ไม่ใช่ทั้งห้องปฏิบัติการ
ความน่าเชื่อถือของเครื่องมือ
เครื่องมือเหล่านี้สามารถทำงานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีอัตราการสูญเสียประสิทธิภาพน้อยกว่า 5% และการบำรุงรักษาก็สามารถทำได้โดยการเปลี่ยนหลอดไฟตามกำหนดเวลาเท่านั้น
รายละเอียดที่ควรพิจารณา
การติดตั้งเครื่องมือนั้นจะขึ้นอยู่กับลักษณะของเครื่องจักร คุณจำเป็นต้องมีการตรวจสอบโครงสร้างของเครื่องจักร และวางแผนสำหรับการเชื่อมต่อกับอินเทอร์เฟซของเครื่องจักรด้วย
ระบบจะทำงานได้ดีที่สุดเมื่อโครงสร้างของกระจกสะท้อนแสงและตำแหน่งของเซ็นเซอร์อยู่ในตำแหน่งที่เหมาะสม การเปลี่ยนชิ้นส่วนแต่ละชิ้นแยกกันจะทำให้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิลดลง ดังนั้น เพื่อให้ได้ความสม่ำเสมอสูงสุด ควรใช้เครื่องควบคุมที่เหมาะสม และมีตารางการปรับแต่งเครื่องมือที่ชัดเจน เพื่อให้สามารถตรวจสอบคุณภาพของวัสดุได้อย่างถูกต้อง