ลองดูว่าเมื่อวัสดุถูกนำออกมาจากขั้นตอนล้างสุดท้ายแล้ว จะเห็นได้ว่าเวลากำลังผ่านไปอย่างรวดเร็ว หากอุณหภูมิไม่เพียงพอ หรือไม่สม่ำเสมอ ก็จะเกิดรอยน้ำบนพื้นผิววัสดุ รวมถึงปัญหาอื่นๆ อีกมากมาย เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนด้วยรังสีอินฟราเรดขึ้นมาเพื่อป้องกันปัญหาเหล่านี้
สิ่งที่สำคัญในการทำงาน
เราใช้เครื่องกำเนิดรังสีอินฟราเรดคลื่นสั้นในโครงสร้างควอตซ์ที่มีขนาดกะทัดรัด วิธีนี้ช่วยให้เกิดการถ่ายโอนพลังงานได้อย่างตรงไปตรงมา และมีความแม่นยำสูง ในระหว่างกระบวนการผลิต เราสามารถรักษาอุณหภูมิของวัสดุให้อยู่ในช่วง ±0.1°C ได้
การควบคุมอุณหภูมิทำได้โดยใช้เซ็นเซอร์ที่ได้รับการปรับเทียบแล้ว ไม่ใช่โดยอาศัยผนังของห้อง วิธีนี้ช่วยให้ได้ความเสถียรในการผลิตต่อเนื่องกัน นอกจากนี้ ตัวเครื่องทำความร้อนยังเหมาะสำหรับใช้ในห้องที่มีมาตรฐานสะอาด โดยมีค่าความสะอาดอยู่ในระดับ Class 1–100 และพื้นผิวของเครื่องก็ถูกออกแบบมาเพื่อลดการเกิดอนุภาคและก๊าซที่อาจส่งผลเสียได้ อัตราการให้ความร้อนยังคงสม่ำเสมอตลอดระยะเวลากว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีความเบี่ยงเบนของอุณหภูมิน้อยกว่า 5%
เหตุผลที่วิธีนี้มีประสิทธิภาพในการใช้งานด้านการผลิตชิป
ในกระบวนการผลิตชิป อุณหภูมิมีความสำคัญมาก ดังนั้นจึงจำเป็นต้องควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในช่วงที่เหมาะสม เพื่อให้คุณภาพของชิปอยู่ในระดับที่ต้องการ เครื่องทำความร้อนด้วยรังสีอินฟราเรดของเราสามารถทำให้วัสดุแห้งได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่ทำให้อุณหภูมิสูงเกินไป ดังนั้นคุณภาพของวัสดุจึงยังคงอยู่ในระดับที่ดี และการควบคุมความกว้างของเส้นสายบนวัสดุก็ยังคงสม่ำเสมอ
คุณจะได้ความเร็วในการผลิต โดยไม่ต้องแลกมาด้วยความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะความร้อนจะถูกส่งไปยังจุดที่จำเป็นเท่านั้น ผลลัพธ์ที่ได้คือจำนวนข้อบกพร่องที่น้อยลง ประสิทธิภาพในการผลิตที่สามารถคาดเดาได้ และลดจำนวนครั้งที่ต้องทำการผลิตใหม่
รายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับการติดตั้ง
การติดตั้งเครื่องทำความร้อนนี้จำเป็นต้องมีความแม่นยำในการติดตั้ง และต้องมีการตรวจสอบทิศทางการไหลของอากาศด้วย การรักษาอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C นั้นขึ้นอยู่กับการไหลของอากาศที่สม่ำเสมอ และการป้องกันไม่ให้มีลมพัดเข้ามาในบริเวณที่มีการผลิต เครื่องทำความร้อนนี้สามารถเชื่อมต่อกับเครื่องมืออื่นๆ ในการผลิตชิปได้ แต่ก็ยังจำเป็นต้องมีการตรวจสอบเรื่องระยะห่าง และการวางตำแหน่งของเซ็นเซอร์ด้วย
เครื่องทำความร้อนนี้มีอายุการใช้งานที่ยาวนาน แต่ก็ยังจำเป็นต้องมีการปรับเทียบเซ็นเซอร์อุณหภูมิเป็นระยะๆ เพื่อให้อุณหภูมิยังคงอยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ตลอดเวลา