บนพื้นโรงงาน คุณรู้ดีถึงความสำคัญ การเปลี่ยนแปลง 1°C ในระหว่างการเบาอบฟิล์มฟอร์มสามารถทำให้เวเฟอร์ขนาด 300mm เสียก่อนที่คุณจะได้ทำการเปิดรับแสงเลย แผ่นร้อนแบบดั้งเดิมต่อสู้กับปัญหาขอบลอย และความล่าช้าทางความร้อนยังสร้างปัญหาความสม่ำเสมอระหว่างล็อต คุณต้องการวิธีการให้ความร้อนที่สามารถรักษาจังหวะกับการเคลือบด้วยการหมุนและลงเป้าหมายในการถ่ายภาพ
สิ่งที่สำคัญภายในระบบ เราทำการเบาอบฟิล์มฟอร์มด้วยเครื่องทำความร้อนอินฟราเรด: ความร้อนแบบเร่งด่วนที่มีการควบคุมอุณหภูมิที่แน่นหนา องค์ประกอบ IR ช่วงคลื่นสั้นตอบสนองในเวลาไม่ถึงวินาที ดังนั้นความล่าช้าที่ทำให้เกิดความไม่สม่ำเสมอภายในเวเฟอร์จึงหายไป ความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์อยู่ที่ ±0.1°C ทั่วพื้นผิวทั้งหมด และความสม่ำเสมอในการตั้งค่าคงที่อยู่ภายใน ±0.2°C ระหว่างการเปลี่ยนแปลง เครื่องทำความร้อนเหล่านี้ตั้งอยู่ในห้องสะอาด Class 1–100 โดยไม่มีการปล่อยอนุภาคและการปล่อยก๊าซต่ำ การควบคุมแบบปิดวงจรช่วยให้การใช้ความร้อนคงที่ ดังนั้นมิติที่สำคัญจึงอยู่ในสเปคหลังจากการเบาอบและการเปิดรับแสงที่ตามมา
ทำไมจึงมีความสำคัญในกระบวนการฟิล์มฟอร์ม การเบาอบคือที่ที่การกำจัดตัวทำละลายและความเครียดของฟิล์มถูกตั้งค่า ด้วย IR พลังงานจะเข้าสู่ฟิล์มฟอร์มโดยตรง ไม่ใช่ที่ตัวกลาง ดังนั้นตัวทำละลายจึงระเหยได้เร็วขึ้นโดยไม่มีการเกินขนาด คุณจะได้ความหนาที่สม่ำเสมอ ความหนาแน่นของข้อบกพร่องที่ต่ำลง และความหยาบของขอบเส้นที่สะอาด ระบบทำงาน 24/7 โดยต้องการการบำรุงรักษาน้อยที่สุด ใช้พลังงานน้อยกว่าเครื่องมือแบบหมุนเวียน และลดเวลาในการทำงานโดยไม่เพิ่มค่าใช้จ่ายในการดำเนินงาน
สิ่งที่คุณต้องระวัง ประสิทธิภาพของ IR ขึ้นอยู่กับการปล่อยและการสะท้อน ดังนั้นการซ้อนทับที่มีเนื้อโลหะสูงอาจต้องการการปรับตั้งค่าซ้ำและการปรับสมดุลพลังงานในโซน การติดตั้งต้องการเส้นสายตาที่ชัดเจนและการจัดแนวที่สะอาดเพื่อหลีกเลี่ยงจุดร้อน จะมีช่วงการเริ่มต้นที่สั้นเพื่อตรวจสอบการปล่อยและปรับแต่งโปรไฟล์โซน แต่เมื่อเสร็จสิ้นแล้ว ขอบเขตของกระบวนการจะเปิดกว้างและการอบจะยังคงมีความเสถียรและสามารถทำซ้ำได้วันแล้ววันเล่า