บนพื้นโรงงาน
ทุกวัตต์ที่รถอบแห้งดึงเข้ามาจะถูกนำมาวิเคราะห์อย่างละเอียด ค่าใช้จ่ายด้านพลังงานไม่สามารถสูงเกินไปจนต้องเสี่ยงกับความสมบูรณ์ของฟิล์มฟอตโต้รีซิสต์ หากความสม่ำเสมอของอุณหภูมิเริ่มเบี่ยงเบน คุณจะเห็นการควบคุมความกว้างของเส้นและประสิทธิภาพของข้อบกพร่องเริ่มแย่ลง เราได้สร้างแพลตฟอร์มการอบแห้งของเราเพื่อลดการใช้พลังงานในกระบวนการอบแห้งของโรงงานในขณะที่ยังคงกระบวนการในเขตความอดทนเป็นศูนย์
สิ่งที่สำคัญภายใน เราใช้แหล่งกำเนิด NIR ร่วมกับการควบคุมแบบปิดเพื่อตีความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C ทั่วทั้งโปรไฟล์การอบ หลังจากการอบเบาและการอบแข็ง จุดตั้งค่าจะถูกควบคุมอย่างเข้มงวดและสามารถทำซ้ำได้ ทำให้ขนาดที่สำคัญยังคงได้รับการปกป้องหลังจากการพิมพ์ลายวงจร ความเข้ากันได้กับห้องสะอาด Class 1–100 ไม่ใช่เรื่องที่คิดภายหลัง — เส้นทางการไหลของอากาศ วัสดุ และการซีลถูกเลือกเพื่อให้การสร้างอนุภาคอยู่ที่ศูนย์ อุปกรณ์ถูกออกแบบให้ทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง 7 วัน โดยมีส่วนประกอบและการออกแบบทางความร้อนที่ได้รับการจัดอันดับสำหรับการใช้งานต่อเนื่อง และสามารถรวมเข้ากับเครื่องมือกระบวนการที่มีอยู่ผ่านมาตรฐานอินเทอร์เฟซ
ทำไมมันถึงทำงานในโรงงาน เราใช้พลังงานน้อยลงโดยการให้ความร้อนอย่างรวดเร็วและตรงตามเป้าหมาย ทำให้ช่วงการอบ/อบแห้งสั้นลงโดยไม่ทำให้ระดับความร้อนเกินงบประมาณ คุณยังคงทำตามสูตรการอบได้ แต่ใช้เวลาที่อุณหภูมิน้อยลงและลดการสูญเสียในขณะรอ นี่ทำให้การใช้พลังงานต่อล็อตต่ำลง มีการทำซ้ำจากตัวทำละลายที่เหลือน้อยลง และเวลาการผลิตที่คงที่ ความแม่นยำทางความร้อนเดียวกันทำให้การอบแห้งสม่ำเสมอหลังจากการทำความสะอาดเวเฟอร์ ทำให้ปัญหาเกี่ยวกับการเกาะตัวและขอบขอบได้รับการควบคุมโดยไม่ทำให้แห้งเกินไป
ส่วนที่นำไปปฏิบัติได้จริง การติดตั้งขึ้นอยู่กับการจับคู่การระบายอากาศ น้ำหล่อเย็น และบัสควบคุม — วางแผนการเชื่อมต่ออุปกรณ์ในช่วงเวลาก่อนการบำรุงรักษาครั้งถัดไป ระบบทำงานได้ดีที่สุดเมื่อการทำความสะอาดเป็นระเบียบ รักษาการดูดเข้าให้ปลอดจากการสะสมและกำหนดการสอบเทียบให้ตรงกับจังหวะการบำรุงรักษาของคุณ