ในโรงงานผลิตชิป การประเมินคุณภาพของวัสดุโฟโตรีซิสต์นั้น ไม่ได้พิจารณาเพียงแค่อุณหภูมิเท่านั้น แต่ยังต้องพิจารณาถึงเวลาที่ใช้ในการอบ จำนวนอนุภาคที่เกิดขึ้น และความสม่ำเสมอของค่า CD ในวัสดุโฟโตรีซิสต์ที่ผลิตขึ้นมาหลายพันชิ้นด้วย หากเครื่องอบมีปัญหา กระบวนการผลิตก็จะหยุดลง และส่งผลให้เสียผลิตภัณฑ์และเสียเวลาในการผลิตไปด้วย
สิ่งที่เราสร้างขึ้น และเหตุใดมันจึงมีความสำคัญ
เราสร้างเครื่องอบวัสดุโฟโตรีซิสต์นี้โดยใช้องค์ประกอบอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ร่วมกับโครงสร้างที่ทำจากควอตซ์ เพื่อให้ได้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับ ±0.1°C ตัวเครื่องอบถูกออกแบบมาให้เหมาะสมกับสภาพแวดล้อมในห้องปลอดภัยระดับ Class 1–100 โดยมีการออกแบบให้มีการปิดผนึกจุดเชื่อมต่อต่างๆ และมีระบบที่ช่วยลดการปล่อยก๊าซออกมา ทำให้ไม่มีอนุภาคเกิดขึ้นเลย
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิยังคงอยู่ในระดับที่ดี ไม่ว่าจะเป็นการอบแบบอ่อนหรือแบบแข็งก็ตาม ดังนั้นช่วงเวลาการอบจึงมีความสม่ำเสมอตลอดเวลา ตัวเครื่องอบนี้ถูกออกแบบมาให้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยไม่มีปัญหา และยังมีอายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น เนื่องจากมีโครงสร้างที่ทนต่อการกัดกร่อน และมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างเหมาะสม ทำให้ลดแรงกระทำที่เกิดขึ้นกับวัสดุโฟโตรีซิสต์
เหตุใดสิ่งนี้จึงมีความสำคัญในกระบวนการลิโทกราฟี
ในกระบวนการลิโทกราฟี อุณหภูมิในการอบมีผลต่อการไหลของวัสดุโฟโตรีซิสต์ ปริมาณสารละลายที่เหลืออยู่ และความสามารถในการกัดกร่อนวัสดุ ด้วยเครื่องอบนี้ คุณสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างสม่ำเสมอในแต่ละชุดผลิตภัณฑ์ ทำให้ลดการต้องแก้ไขผลิตภัณฑ์ และสามารถควบคุมค่า CD ได้อย่างมีประสิทธิภาพ
นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะเครื่องอบสามารถถึงอุณหภูมิที่ตั้งไว้ได้อย่างรวดเร็ว และรักษาอุณหภูมิไว้ได้โดยไม่มีการเกินอุณหภูมิที่กำหนด ดังนั้นค่าใช้จ่ายด้านพลังงานต่อชิ้นผลิตภัณฑ์ก็จะลดลง นอกจากนี้ การเปลี่ยนเครื่องอบก็น้อยลง ทำให้ไม่มีการหยุดการผลิตบ่อยครั้ง
สิ่งที่คุณต้องคำนึงถึงในการติดตั้งและการใช้งาน
การติดตั้งเครื่องอบนั้น ต้องมีการปรับให้อยู่ในตำแหน่งที่ถูกต้องเมื่อเชื่อมต่อกับแผ่นร้อน และต้องมีการเชื่อมต่อสายไฟที่เหมาะสมกับสภาพแวดล้อมในห้องปลอดภัย หากสายไฟไม่ตรงกัน ก็อาจทำให้เกิดปัญหาเรื่องความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้
เครื่องอบจะทำงานได้ดีที่สุดเมื่อมีกระแสลมในห้องที่สม่ำเสมอ และอุณหภูมิภายนอกอยู่ในช่วงที่กำหนด ควรมีการปรับเครื่องอบเป็นระยะๆ เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1°C แต่ก็สามารถปล่อยให้เครื่องอบทำงานได้เป็นเวลานานๆ ก่อนที่จะมีการปรับอีกครั้ง เพราะเครื่องอบของเราสามารถทำงานได้หลายหมื่นชั่วโมงโดยไม่มีปัญหาใดๆ