ในโรงงานผลิตชิป แค่มีการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิระหว่างการอบวัสดุโฟโตรีซิสเตอร์เพียง 0.5°C เท่านั้น ก็เพียงพอที่จะทำให้ชิปที่มีคุณภาพดีกลายเป็นชิปที่ใช้การไม่ได้ วงจรการผลิตก็จะถูกรบกวน จำนวนอนุภาคก็เพิ่มขึ้น เราจึงออกแบบอุปกรณ์ทำความร้อนสำหรับการประมวลผลชิปขึ้นมา เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดความสูญเสียดังกล่าว
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
ส่วนประกอบหลักของอุปกรณ์นี้คือเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดคลื่นสั้นที่ทำจากควอตซ์ ซึ่งถูกออกแบบมาให้เหมาะสมกับอุณหภูมิที่ต้องการในขั้นตอนการผลิต อุณหภูมิบนวงจรจะถูกควบคุมให้อยู่ในช่วง ±0.1°C โดยมีการวัดอุณหภูมิโดยใช้เทอร์โมคัปเปิลที่มีความแม่นยำสูง อุปกรณ์นี้สามารถปรับอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว และสามารถควบคุมอุณหภูมิให้คงที่ได้ตลอดกระบวนการผลิต
เหตุผลที่อุปกรณ์นี้ได้ผลจริง
ในกระบวนการผลิตโฟโตรีซิสเตอร์ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิมีผลโดยตรงต่อคุณภาพของชิป อุปกรณ์ทำความร้อนของเราช่วยให้อุณหภูมิในบริเวณที่ต้องการความร้อนคงที่ ทำให้ลดความแตกต่างของอุณหภูมิภายในวงจร และลดการต้องทำการผลิตซ้ำ นอกจากนี้ อุปกรณ์นี้ยังสามารถทำงานได้ในสภาพแวดล้อมแบบคลีนรูม มีความสามารถในการลดการก่อตัวของอนุภาค ซึ่งช่วยให้ความผิดพลาดในการผลิตลดลง ในขณะเดียวกัน การทำงานที่มีความแม่นยำสูงก็ช่วยลดเวลาในการผลิตชิปต่อชิ้น และลดการใช้พลังงานด้วย
สิ่งที่คุณควรรู้
การติดตั้งอุปกรณ์นี้ต้องมีการจัดวางให้ตรงกับห้องปฏิบัติการอย่างแม่นยำ และต้องมีการตรวจสอบความสัมพันธ์ระหว่างอุปกรณ์กับสภาพแวดล้อมทางอุณหภูมิด้วย อุปกรณ์นี้จะทำงานได้ดีที่สุดเมื่อมีการปรับอุปกรณ์ให้เหมาะสมกับคุณสมบัติทางอุณหภูมิและการไหลของอากาศในห้องปฏิบัติการ หากมีการปรับอุปกรณ์ไม่เหมาะสม ก็จะทำให้อุณหภูมิไม่สม่ำเสมอ
ควรมีการปรับอุปกรณ์ทุกๆ 2,000 ชั่วโมง และควรมีอุปกรณ์สำรองไว้ด้วย เพราะอุปกรณ์อาจเสียได้ในช่วงเวลาที่เราต้องการใช้มันมากที่สุด เรากำหนดชนิดของตัวเชื่อมต่อ แรงดันไฟฟ้า และขนาดของอุปกรณ์ไว้อย่างชัดเจน เพื่อให้อุปกรณ์สามารถทำงานได้อย่างราบรื่น แต่การติดตั้งจริงก็ยังเป็นหน้าที่ร่วมกันระหว่างผู้ผลิตและผู้ใช้งาน