บนพื้นโรงงาน การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิในขั้นตอน soft bake หรือ hard bake ไม่เพียงแต่ส่งผลต่ออัตราผลผลิตเล็กน้อย — แต่ยังสามารถทำลายมันได้...

บนพื้นที่ผลิต การล้มเหลวของหลอดไฟไม่ได้หมายถึงเวลาหยุดงาน แต่คือการเสียชิ้นงาน เมื่อหลอดไฟลิโธกราฟี ASML เริ่มทำงานด้อยประสิทธิภาพ การอบแบบ soft bake...