บนพื้นที่ผลิต การล้มเหลวของหลอดไฟไม่ได้หมายถึงเวลาหยุดงาน แต่คือการเสียชิ้นงาน เมื่อหลอดไฟลิโธกราฟี ASML เริ่มทำงานด้อยประสิทธิภาพ การอบแบบ soft bake จะเบี่ยงเบน การควบคุมความกว้างเส้นจะคลาดเคลื่อน และผลผลิตจะลดลง เราออกแบบอะไหล่หลอดไฟลิโธกราฟี ASML เหล่านี้ให้รักษางบประมาณความร้อนไว้อย่างแม่นยำ เพื่อให้กระบวนการของคุณคงอยู่ในสเปค แม้จะทำงานตลอด 24 ชั่วโมงทุกวัน
ประเด็นทางเทคนิคที่สำคัญ
อะไหล่เหล่านี้รักษาอุณหภูมิให้ทำซ้ำได้ โดยความสม่ำเสมอบนระดับเวเฟอร์อยู่ในช่วง ±0.1°C ซึ่งสำคัญเพราะการเบี่ยงเบนเล็กน้อยในขั้นตอนอบที่สำคัญสามารถเปลี่ยนแปลง CD และโปรไฟล์ได้อย่างรวดเร็ว เปลือกควอตซ์และการปล่อยสเปกตรัมฮาโลเจน/NIR ที่ได้รับการปรับแต่งช่วยรักษาความเสถียรของการจ่ายพลังงาน จึงทำให้การอบและการบ่มโฟโตรีซิสต์มีความสม่ำเสมอ
ชุดประกอบนี้เหมาะสำหรับห้องปลอดเชื้อในระดับ Class 1 ถึง Class 100 ถูกออกแบบให้ไม่ก่อให้เกิดฝุ่นละอองและลดการปล่อยก๊าซ ซึ่งช่วยควบคุมจำนวนอนุภาคในสภาพแวดล้อมที่ผลผลิตถูกวัดจากจำนวนข้อบกพร่องต่อเวเฟอร์ นอกจากนี้ยังมีอายุการใช้งานยาวนาน โดยอุปกรณ์ดังกล่าวโดยปกติทำงานได้เกิน 5,000 ชั่วโมงโดยมีการลดทอนพลังงานน้อยกว่า 5% ซึ่งช่วยลดการเปลี่ยนอะไหล่เชิงป้องกันและรักษาเวลาทำงานให้ต่อเนื่อง
เหตุผลที่เหมาะกับงานของคุณ
สามารถเปลี่ยนใช้สำหรับการอบแห้งเวเฟอร์ การอบโฟโตรีซิสต์แบบ soft bake และ hard bake การห่อหุ้มและบ่มแพ็กเกจ รวมถึงการอบแห้งหลังการทำความสะอาด โปรไฟล์ความร้อนที่เสถียรช่วยให้เวลาตั้งตัวสั้นลง ปรับปรุงความสม่ำเสมอระหว่างสายการผลิต และรักษารอบการทำงานให้เข้มงวด ซึ่งช่วยลดการใช้พลังงาน ผลลัพธ์คือช่วงเวลาการเปิดรับแสงที่มีความสม่ำเสมอมากขึ้น ลดจำนวนล็อตที่ต้องทำซ้ำ และสามารถวางแผนช่วงเวลาบำรุงรักษาได้จริง
รายละเอียดเชิงปฏิบัติ
การติดตั้งต้องจับคู่ตัวเชื่อมต่ออย่างแม่นยำและยืนยันแรงดันไฟฟ้าและขนาดกับรุ่นเครื่องมือของคุณ แพลตฟอร์มบางรุ่นเก่าต้องการอัปเดตเฟิร์มแวร์หรือการปรับเทียบเพื่อให้รับรู้พารามิเตอร์ของหลอดไฟใหม่ หลังจากเปลี่ยนหลอดแล้ว ให้ทำการปรับเทียบสั้นๆ เพื่อยืนยันจุดตั้งค่าอุณหภูมิและความสม่ำเสมอ จากนั้นล็อกขั้นตอนนี้ไว้ในตารางบำรุงรักษาเชิงป้องกันของคุณ