AFM 原子間力顕微鏡 用ヒーター
リソグラフィーの現場では、サンプルの温度がわずか0.5度だけ変動しても、AFMのスキャンはうまくいきません。フォトレジストの挙動や、その後の処理もすべて熱によって制御されます。もしヒーターが0.1℃未満の精度で設定温度を維持できない場合、それは測定というよりも単なる推測に過ぎません。
技術的に重要...
電気暖炉ヒーター
冬の倉庫というのは、非効率さの典型例です。熱は天井の方に上がってしまい、作業エリアは寒くなったままです。また、電気代もかさんでしまいます。人々は重ね着をせざるを得ず、作業の速度も遅くなり、モチベーションも下がってしまいます。強制送風システムを使って建物全体を温めようとしても、高額な電気代や不均一な...
セラミック式赤外線ヒーターパネル
製造現場において、フォトレジストのベイク処理は「あれば良いもの」ではなく、不可欠な工程です。もしベイクの条件がわずかにずれてしまうだけで、ウェハ上の重要な寸法が変動してしまいます。また、ハードベイク時に均一性が失われると、歩留まりが低下してしまいます。私たちは、そのようなばらつきを抑えるためにセラ...
省エネ型のエアヒーター
私たちが目指したのは、高価ではない、信頼性の高い赤外線暖房機を作ることでした。この製品は、パティオや店舗内、または家の中の風の通りやすい場所でも、快適な暖かさを提供し、電気代の心配や、壊れやすい機器の管理の手間も省けます。
内部構造について この電気式赤外線ヒーターは、放射熱を利用しているため、空...
オックスフォード・インストゥルメンツのヒーター素子
リソグラフィープロセスにおいては、ソフトベイクの際にわずか0.5度の誤差があっても、CDの位置が変わってしまうことをすぐに理解する必要があります。ハードベイクを過度に高温で行うと、表面に汚れが発生したり、歩留まりが低下したりします。熱制御は単なる調整項目ではなく、オーバーレイや線幅、欠陥の発生率を...
ウェハ用カスタム赤外線ヒーター
リソグラフィーの工程では、フォトレジストを加熱する際に0.5℃の温度変動があるだけで、回路の精度が悪くなってしまうことがあります。また、粒子の混入によって多くのウェーハが破損してしまうこともあります。ウェーハの加熱は、毎回、すべてのロットにおいて、再現性があり、迅速かつ正確に行われなければなりませ...
半導体処理用ヒーター素子
製造現場では、フォトレジストの加熱処理において0.5℃ほどの温度変動があるだけで、良品であったはずのウェーハが廃棄物になってしまいます。ウェーハはそのまま待機状態にあります。スケジュールも乱れ、粒子の数も増えてしまいます。私たちは、このような損失が発生する前にそれを防ぐための半導体加工用ヒーターを...
ポータブルファンヒーター
冬の夜に中に入ってみてください。部屋は冷たく感じますが、数分もすると、壁や床、家具が温かさを保持し始めます。ヒーターの電源を切った後でも、その快適さは続きます。これは、放射熱が静かに効果を発揮しているからです。
実際に重要なのは何か 私たちのポータブル型赤外線ファンヒーターは、炭素繊維要素を使用し...
ウェーハのソルダーマスク乾燥
実際には、はんだマスクの乾燥処理というのは、単なる緩やかな加熱ではありません。それは明確な条件であり、変更の余地がないのです。 1.5℃の温度変動があると、ウエハ全体の厚みが不均一になり、次のリソグラフィ工程が中断されてしまいます。欠陥のない製品を作りたいのであれば、この加熱装置は一定の仕様で動作...
オゾンフリー赤外線ランプ
製造ライン上では、焼成プロファイルが数度程度ずれるだけで、ウェーハの寸法制御が乱れ、フォトレジストが剥がれてしまい、良品のウェーハがスクラップになってしまいます。私たちは、このような現実に対処するために、オゾンフリーの赤外線ランプを開発しました。目的は、熱変動が生じないように、安定した温度を維持す...
キャンプ用電気ヒーター
キャンプ用電気ヒーターの真の性能は、起動した時ではなく、電源が切れた後の静かな時間帯にこそ明らかになります。夜間にテントを閉じた後も、暖かさが続いてほしいものです。急に寒くなるのではなく、持続的な暖かさが欲しいのです。その持続的な暖かさは、赤外線によって生み出されるもので、空気だけでなく、物質自体...
ファブレーザー用クォーツガラスシールド
7×24時間稼働する製造ラインでは、ランプが故障しただけでは済まされません。熱的な安定性が失われたり、フォトレジストの特性が変化したりして、再作業が必要になります。クォーツガラス製のシールドは、シフトを重ねても露光や加熱処理の精度を保つための重要な要素です。
実際に重要なのは何か 私たちは高純度の...
耐久性の高いフォトレジスト焼成ヒーター
製造現場では、フォトレジストの焼成を単に温度で判断するわけではありません。むしろ、稼働時間や粒子数の増加がないか、何千枚ものウェーハ全体でCD値が一定であるかといった点を重視します。もし焼成用ヒーターの性能が低下したり故障したりすると、生産ラインが停止してしまい、製品やエネルギーが無駄になってしま...
ウェーハ乾燥用赤外線ヒーター
最終洗浄後にウェーハから水分が除去されていく様子を見れば、時間がどれだけ経過しているかがわかります。もし加熱が遅れたり、均一でなかったりすると、すぐに水滴の跡やフォトレジストの剥離、そして歩留まりの低下が起こります。私たちは、このような問題が発生する前にそれを防ぐために、ウェーハ乾燥用の赤外線ヒー...
ファブ乾燥におけるエネルギー削減
ファブフロアでのエネルギー管理 乾燥トレインが消費するワット数は、細部にわたって検査されます。エネルギーコストが高くなりすぎて、フォトレジストの完全性に賭けるわけにはいきません。熱的均一性がずれると、ライン幅の制御や欠陥性能が崩壊するのを目の当たりにします。私たちは、プロセスラインをゼロトレランス...