Hãy ngừng lãng phí năng lượng đi: Tại sao các tấm phản xạ bằng vàng lại quan trọng đến vậy?
Trong quy trình xử lý wafer, mỗi watt năng lượng bị lãng phí chính là việc lãng phí tiền bạc. Tệ hơn nữa, nhiệt lượng dư thừa này có thể gây hư hại cho các bức tường của buồng xử lý, từ đó tạo ra nguy cơ nhiễm bẩn mà chúng ta không hề muốn.
Hầu hết các bộ sưởi thông thường đều có hiện tượng rò rỉ năng lượng; năng lượng bị tỏa ra mọi hướng, chứ không chỉ vào nơi cần thiết. Chúng tôi đã tìm ra giải pháp tốt hơn: sử dụng các tấm phản xạ được phủ lớp vàng. Thay vì để nhiệt lượng lan tỏa, chúng ta có thể phản chiếu nhiệt lượng trở lại vào wafer.
Tại sao lại chọn vàng?
Điều này không liên quan đến vẻ ngoài sang trọng, mà là do tính chất vật lý của vàng. Vàng có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại cực tốt – tốt hơn nhiều so với nhôm hay thép không gỉ thông thường. Khi chúng ta phủ lớp vàng lên tấm phản xạ, nó sẽ thu hồi những photon vốn sẽ thoát ra ngoài và đẩy chúng trở lại về phía wafer.
Kết quả là nhiệt lượng được tập trung tốt hơn, và thời gian cần thiết để đạt được nhiệt độ mong muốn cũng giảm đi đáng kể. Đơn giản thôi.
Xử lý vấn đề nhiệt và công suất
Nếu bạn muốn wafer đạt được nhiệt độ chính xác và đồng đều, bạn cần có mật độ năng lượng cao. Chúng tôi cố gắng giữ khoảng cách giữa nguồn nhiệt và bề mặt wafer càng ngắn càng tốt. Nhờ vậy, bạn có thể giảm tổng công suất sử dụng, nhưng vẫn đạt được nhiệt độ mong muốn.
Nhưng có một vấn đề: bạn cần phải chú ý đến hệ thống làm mát. Khi năng lượng được tập trung ở một điểm duy nhất, vỏ bọc của tấm phản xạ sẽ bị tổn thương. Nếu hệ thống làm mát không thể xử lý được lượng nhiệt này, các cảm biến sẽ bị sai lệch, và độ chính xác của quy trình sẽ bị ảnh hưởng.
Giữ cho hệ thống hoạt động ổn định
Chúng tôi biết rằng thời gian ngừng hoạt động là kẻ thù lớn nhất, vì vậy chúng tôi thiết kế các bộ phận này để có thể thay thế nhanh chóng. Bí quyết để giữ cho chúng hoạt động hiệu quả chính là việc duy trì vệ sinh tuyệt đối. Vàng rất tốt, nhưng bụi bẩn và quá trình oxy hóa lại có thể phá hủy lớp phủ vàng. Nếu bề mặt bị bẩn, bạn sẽ gặp phải tình trạng có những điểm nóng trên wafer.
Hãy tuân thủ lịch trình vệ sinh nghiêm ngặt. Hãy sử dụng các chất tẩy rửa không gây mòn bề mặt – đừng làm xước lớp phủ vàng. Nếu lớp vàng bị mỏng đi, hiệu suất của hệ thống sẽ giảm sút. Bạn sẽ phải tăng công suất sử dụng để bù đắp, và điều này sẽ khiến các bóng đèn bị hao mòn nhanh hơn dự kiến.