Ngừng việc làm nóng toàn bộ thiết bị – Hãy tập trung năng lượng vào việc làm nóng wafer thay vì toàn bộ thiết bị.
Khi thiết lập bộ phận làm nóng wafer, điều quan trọng là phải đảm bảo rằng năng lượng được dùng để làm nóng chính wafer mà thôi. Bạn không muốn năng lượng đó bị tỏa ra khắp nơi trong thân máy.
Vấn đề là các bóng đèn hồng ngoại thông thường sẽ tỏa nhiệt theo mọi hướng. Trong môi trường chật hẹp của các thiết bị bán dẫn, năng lượng này sẽ bị phản xạ lại các bức tường bên trong. Kết quả là vỏ máy trở thành “bộ tản nhiệt” khổng lồ. Điều này có thể dẫn đến việc các linh kiện bị hư hỏng, hoặc tệ hơn nữa, thợ vận hành có thể bị bỏng.
Làm sao để năng lượng được sử dụng đúng mục đích?
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng công nghệ hồng ngoại có hướng chiếu rõ ràng. Thay vì chỉ sử dụng ống thủy tinh thông thường, chúng tôi sử dụng các bộ phản xạ và lớp phủ đặc biệt để dẫn hướng sóng hồng ngoại.
Hãy tưởng tượng như việc thay từ bóng đèn thông thường sang đèn pin. Bằng cách thu hẹp chùm sáng, chúng ta có thể đưa năng lượng trực tiếp lên bề mặt wafer. Điều này giúp ngăn chặn việc năng lượng bị tỏa ra khắp nơi. Như vậy, năng lượng sẽ được sử dụng đúng mục đích.
Sự cân bằng giữa khoảng cách và an toàn
Vị trí lắp đặt bóng đèn rất quan trọng. Nếu bóng đèn quá gần wafer, sẽ xuất hiện các điểm nóng và việc làm nóng sẽ không đồng đều. Ngược lại, nếu bóng đèn quá xa, hiệu suất làm nóng sẽ kém. Chúng tôi dành nhiều thời gian để điều chỉnh khoảng cách này. Mục tiêu là giữ cho các bức tường bên trong máy luôn ở nhiệt độ thấp đủ để có thể chạm vào được. Vì bóng đèn có hướng chiếu rõ ràng, bạn không cần phải lắp thêm các bộ tản nhiệt lớn lên toàn bộ khung máy.
Nhược điểm
Đây không phải là giải pháp kỳ diệu. Khi tập trung chùm sáng vào một điểm cụ thể, nhiệt độ tại điểm đó sẽ tăng lên rất cao. Bạn cần đảm bảo rằng các bộ điều khiển PID được thiết lập đúng cách, nếu không nhiệt độ có thể vượt quá mức mong muốn.
Và điều quan trọng nhất là: phải giữ cho các bộ phận phản xạ luôn sạch sẽ. Nếu bụi bẩn hoặc hóa chất dính vào các bộ phận này, chùm sáng sẽ bị phân tán. Kết quả là máy lại bị quá nhiệt. Hãy giữ chúng luôn sạch sẽ, nếu không mức độ an toàn của bạn sẽ bị ảnh hưởng nghiêm trọng.