Trong quy trình sản xuất bằng kỹ thuật in ấn, bạn sẽ nhanh chóng nhận ra rằng sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,5°C trong quá trình nung phim cảm quang cũng có thể gây ra sai lệch trong việc phủ lớp phim lên wafer. Ngoài ra, sự xuất hiện của các hạt bẩn cũng có thể phá hủy nhiều wafer. Việc làm nóng wafer cần được thực hiện một cách đồng nhất, sạch sẽ và nhanh chóng – trong mỗi chu kỳ xử lý, với mỗi lô sản phẩm. Không có ngoại lệ nào cả.
Những yếu tố quan trọng
Chúng tôi chế tạo các thiết bị sưởi đặc biệt dành cho quy trình xử lý wafer, kết hợp giữa các bộ phát sóng tia hồng ngoại ngắn hoặc trung bình với khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác. Trong khu vực nung, chúng tôi đảm bảo độ đồng đều nhiệt độ ở mức ±0,1°C, với thời gian phản ứng dưới 2 giây. Thân máy được làm từ thạch anh và gốm cao purity; các điểm nối giữa các bộ phận được niêm phong kỹ lưỡng để ngăn không khí và chất bẩn xâm nhập vào bên trong.
Trong các phòng sạch loại 1–100, chúng tôi kiểm soát tối đa sự xuất hiện của các hạt bẩn. Không có luồng khí nào chảy qua khu vực nung, và chúng tôi sử dụng các bộ lọc để loại bỏ các hạt bẩn. Hệ thống kiểm soát nhiệt độ được thực hiện thông qua các cảm biến được hiệu chuẩn chính xác, giúp đảm bảo tính ổn định của quy trình nung.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình xử lý phim cảm quang?
Độ ổn định nhiệt độ là yếu tố quan trọng để kiểm soát độ chính xác của việc phủ lớp phim lên wafer, từ đó giảm thiểu việc phải làm lại sản phẩm. Với độ đồng đều nhiệt độ cao, bạn có thể đạt được độ chính xác cao hơn trong việc phân bố kích thước các đường nét trên wafer, đồng thời giảm bớt thời gian cần thiết để xử lý wafer.
Khả năng phản ứng nhanh với nhiệt độ giúp rút ngắn thời gian nung, đồng thời bảo vệ lớp phim được phủ lên wafer. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt, vì các bộ phát sóng chỉ làm nóng vùng cần xử lý, chứ không phải toàn bộ buồng xử lý.
Độ tin cậy của hệ thống
Các thiết bị này có thể hoạt động liên tục trong hơn 5.000 giờ mà chỉ có ít hơn 5% hiệu suất suy giảm. Việc bảo trì chủ yếu chỉ gói gọn trong việc thay thế các bóng đèn theo lịch trình đã định.
Những chi tiết cần lưu ý khi lắp đặt
Việc lắp đặt cần được thực hiện phù hợp với từng loại máy. Bạn cần kiểm tra kỹ lưỡng cấu trúc máy và các kết nối điện để đảm bảo chúng phù hợp với máy của mình.
Hệ thống sẽ hoạt động tốt nhất khi cấu trúc của bộ phản xạ và vị trí của các cảm biến được đảm bảo ổn định. Việc thay thế từng bộ phận riêng lẻ sẽ làm giảm độ đồng đều nhiệt độ. Để đạt được độ ổn định cao nhất, hãy sử dụng bộ điều khiển chuyên dụng kèm theo bộ sưởi, và lập lịch trình hiệu chuẩn cẩn thận, phù hợp với các bước kiểm tra chất lượng sản phẩm.