Trên sàn chế tạo, bạn biết rõ những rủi ro. Một biến động 1°C trong quá trình nướng mềm photoresist có thể khiến một wafer 300mm bị loại bỏ trước khi bạn thậm chí bắt đầu quá trình phơi sáng. Các bàn gia nhiệt thông thường chống lại hiện tượng cuộn mép, và độ trễ nhiệt tiếp tục gây ra những vấn đề về tính lặp lại từ lô này sang lô khác. Bạn cần một phương pháp gia nhiệt theo kịp quá trình phủ spin và đạt được độ chính xác trong công nghệ lithography. Những gì quan trọng bên trong Chúng tôi thực hiện nướng trước photoresist bằng các bộ gia nhiệt hồng ngoại: nhiệt bức xạ nhanh với kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ. Các thành phần IR sóng ngắn phản ứng trong thời gian dưới một giây, do đó độ trễ gây ra sự không đồng nhất trong wafer đã được loại bỏ. Độ đồng nhất trên wafer đạt ±0.1°C trên toàn bộ bề mặt, và độ lặp lại của điểm đặt giữ trong khoảng ±0.2°C giữa các lần. Các bộ gia nhiệt này hoạt động ổn định trong các phòng sạch Class 1–100, với không có sự thoát hạt và lượng khí thải thấp. Kiểm soát vòng kín giữ ngân sách nhiệt ổn định, vì vậy các kích thước quan trọng vẫn nằm trong thông số kỹ thuật sau khi nướng mềm và quá trình phơi sáng tiếp theo. Tại sao điều này quan trọng trong quy trình photoresist Nướng mềm là nơi mà việc loại bỏ dung môi và ứng suất phim được thiết lập. Với IR, năng lượng đi thẳng vào resist, không phải vào chất mang, do đó dung môi bay hơi nhanh hơn mà không bị thừa. Bạn có độ dày đồng nhất, mật độ khuyết tật thấp hơn, và độ gồ ghề cạnh đường nét sạch hơn. Hệ thống hoạt động 24/7 với bảo trì tối thiểu, tiêu thụ ít năng lượng hơn so với các công cụ đối lưu, và giảm thời gian chu kỳ mà không tăng chi phí vận hành. Những gì bạn cần theo dõi Hiệu suất IR phụ thuộc vào độ phát xạ và độ phản xạ, vì vậy các cụm có hàm lượng kim loại cao có thể cần hiệu chỉnh điểm đặt và cân bằng lại công suất vùng. Việc lắp đặt yêu cầu có tầm nhìn rõ ràng và căn chỉnh sạch để tránh các điểm nóng. Có một khoảng thời gian chạy thử ngắn để lập bản đồ độ phát xạ và tinh chỉnh hồ sơ vùng, nhưng một khi điều đó hoàn tất, cửa sổ quy trình mở ra và các lần nướng giữ ổn định và lặp lại, ngày qua ngày.