Trong quy trình sản xuất, người ta không chỉ đánh giá chất lượng việc nung chảy chất phơi ảnh dựa trên nhiệt độ mà còn dựa vào thời gian hoạt động ổn...

Trên sàn chế tạo, bạn biết rõ những rủi ro. Một biến động 1°C trong quá trình nướng mềm photoresist có thể khiến một wafer 300mm bị loại bỏ trước khi...