Trên dây chuyền sản xuất, nếu độ chính xác trong việc kiểm soát nhiệt độ giảm vài độ, điều đó sẽ ảnh hưởng đến chất lượng của các wafer, khiến chúng trở thành phế phẩm. Chúng tôi đã thiết kế những chiếc đèn hồng ngoại không chứa ozone để giải quyết vấn đề này, thay vì cố gắng khắc phục sau khi sự cố xảy ra. Mục tiêu là duy trì nhiệt độ ổn định, giúp các wafer được xử lý một cách đồng đều, mà không bị ảnh hưởng bởi sự biến đổi nhiệt độ.
Điều quan trọng nhất là khả năng lặp lại quy trình sản xuất dưới tải trọng cao. Các đèn hồng ngoại của chúng tôi có thể nhanh chóng đạt được nhiệt độ mong muốn, đồng thời giữ cho nhiệt độ trên các wafer ở mức ±0,1°C. Nhờ đó, các thông số liên quan đến quá trình xử lý wafer vẫn được duy trì ổn định từ lô này sang lô khác. Phương pháp không chứa ozone giúp tránh sự ô nhiễm trong buồng xử lý, đồng thời giúp giảm số lượng hạt bụi – phù hợp với tiêu chuẩn phòng sạch cấp độ 1–100. Hiệu suất hoạt động của đèn vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ sử dụng, với độ lệch về cường độ ánh sáng và nhiệt độ dưới 5%.
Điều này có nghĩa là chi phí sản xuất sẽ giảm, số lần phải làm lại sản phẩm sẽ ít đi, và thời gian bảo trì cũng sẽ được kiểm soát tốt hơn.
Về mặt hiệu suất, đèn có thể khởi động ngay lập tức, duy trì nhiệt độ ổn định mà không bị lệch quá mức, và có thể hoạt động 24/7 mà không gặp sự cố nào. Tiêu thụ năng lượng của đèn thấp hơn so với các hệ thống thông thường, và tuổi thọ dài giúp giảm chi phí thay thế linh kiện và chi phí bảo trì. Trong quy trình in ấn, điều này giúp duy trì chất lượng của lớp phủ quang học, giảm số lần phải dừng máy, và giúp giảm chi phí sản xuất mỗi wafer.
Một vài lưu ý khi tích hợp đèn vào hệ thống hiện có: cần chú ý đến hình dạng của vật phản xạ ánh sáng và dòng chảy của chất làm mát – những yếu tố này quyết định khả năng kiểm soát nhiệt độ. Nếu đèn được lắp vào những lò nung hoặc bảng nung hiện có, cần điều chỉnh vị trí của đèn sao cho phù hợp. Cũng cần đảm bảo rằng điện áp và loại đầu nối phù hợp với thiết bị hiện có, đồng thời cần có biện pháp bảo vệ chống nhiễu điện từ ở những vị trí có các thiết bị nhạy cảm. Việc calibrat đèn vẫn cần được thực hiện, nhưng khoảng thời gian giữa các lần calibrat sẽ dài hơn.