Trên sàn sản xuất, một lỗi đèn không phải là thời gian ngừng máy mà là phế phẩm. Khi đèn lithography ASML bắt đầu hoạt động kém hiệu quả, quá trình soft bake bị trôi nhiệt, kiểm soát độ rộng đường mạch (linewidth) bị lệch, và năng suất giảm sút. Chúng tôi thiết kế các bộ phận thay thế đèn lithography ASML này để giữ chính xác ngân sách nhiệt, giúp quy trình của bạn duy trì trong giới hạn kỹ thuật ngay cả khi hoạt động 24/7.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Các bộ phận này giữ nhiệt độ ổn định, với độ đồng nhất trên wafer trong phạm vi ±0.1°C. Điều này quan trọng vì một biến động nhỏ trong bước nung quan trọng có thể nhanh chóng làm thay đổi kích thước mẫu (CD) và hình dạng (profile). Vỏ thạch anh và đầu ra phổ halogen/NIR được tối ưu hóa giữ năng lượng cung cấp ổn định, giúp quá trình nung và đóng rắn photoresist diễn ra nhất quán.
Tương thích với phòng sạch từ Class 1 đến Class 100, cụm đèn được thiết kế không tạo hạt và hạn chế phát thải khí thấp. Điều này giúp giảm số lượng hạt trong môi trường mà năng suất được đánh giá theo số lỗi trên mỗi wafer. Tuổi thọ dài cũng được đảm bảo — thiết bị thường đạt trên 5.000 giờ hoạt động với giảm công suất dưới 5%, giảm thiểu việc thay thế dự phòng và bảo vệ thời gian hoạt động.
Lý do phù hợp với quy trình của bạn
Thay thế cho các bước sấy wafer, soft bake và hard bake photoresist, đóng gói bọc và đóng rắn, cũng như sấy sau khi làm sạch. Đường nhiệt ổn định giúp giảm thời gian ổn định, tăng độ lặp lại giữa các lô, và giữ chu kỳ hoạt động chặt chẽ, từ đó giảm tiêu thụ năng lượng. Kết quả là cửa sổ phơi sáng ổn định hơn, ít lô phải làm lại, và các khoảng thời gian bảo trì có thể lên kế hoạch chính xác.
Chi tiết thực tế
Việc lắp đặt yêu cầu khớp chính xác đầu nối và xác nhận điện áp cũng như kích thước tương thích với phiên bản thiết bị của bạn. Một số nền tảng cũ cần cập nhật firmware hoặc hiệu chuẩn để nhận diện thông số đèn mới. Sau khi thay thế, chạy hiệu chuẩn ngắn để xác nhận điểm thiết lập nhiệt độ và độ đồng nhất, rồi khóa quy trình này vào lịch bảo trì dự phòng của bạn.