Ngăn chặn các mảnh vỡ: Giữ cho các wafer MEMS luôn sạch sẽ
Trong nhà máy sản xuất MEMS, việc đèn hồng ngoại bị hỏng không chỉ gây phiền toái mà còn là một thảm họa thực sự. Hãy tưởng tượng rằng ống thủy tinh bị hỏng dưới áp lực lớn: nó không chỉ ngừng hoạt động mà còn nổ tung, khiến các mảnh thủy tinh và kim loại văng ra, làm hỏng bề mặt của các wafer. Kết quả là tỷ lệ thành phẩm sẽ giảm sút. Chúng tôi thiết kế các bộ sấy bằng hồng ngoại sao cho điều này không xảy ra.
Tại sao ống thủy tinh lại bị nổ?
Thông thường, nguyên nhân là do áp lực nhiệt hoặc hiện tượng phóng điện tại vị trí kết nối. Khi sản xuất diễn ra ở mức cao, các ống thủy tinh này sẽ bị tổn thương nghiêm trọng. Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ phe phóng nhiệt rất thấp. Điều này có nghĩa là thủy tinh này có thể chịu được những dao động nhiệt độ cao mà không bị vỡ.
Ngăn chặn các mảnh vỡ lan ra
Nếu đèn bị hỏng, chúng ta không muốn các mảnh vỡ bay vào các wafer. Vì vậy, chúng tôi sử dụng lớp bảo vệ kép để ngăn chặn điều này. Chúng tôi đặt một lớp vỏ thủy tinh bảo vệ giữa bộ phận sấy và các wafer. Lớp vỏ này giúp ngăn các mảnh vỡ bay ra ngoài. Nhờ đó, các wafer vẫn giữ được trạng thái sạch sẽ.
Chú trọng đến các bộ kết nối
Chúng tôi cũng rất chú trọng đến các bộ kết nối. Nếu các đầu nối không được lắp đặt chính xác, sẽ tạo ra những điểm nóng, làm hư hại thủy tinh. Chúng tôi sử dụng các bộ kết nối chính xác để đảm bảo dòng điện được phân bố đều trên các sợi dây. Như vậy, sẽ không có điểm nóng hay điểm yếu nào xảy ra.
Việc cân bằng nhiệt độ
Vấn đề là: nhiệt độ cao là cách duy nhất để sấy khô các wafer nhanh chóng. Nhưng chúng ta không thể duy trì nhiệt độ cao mãi được. Càng nhiều công suất được cung cấp cho mỗi centimet vuông, áp lực lên thủy tinh càng lớn. Đó là một sự cân bằng khó khăn. Để tránh việc đèn bị hỏng sớm, dòng khí làm mát phải được điều chỉnh sao cho phù hợp với công suất của đèn. Nếu vỏ đèn quá nóng, tuổi thọ của đèn sẽ giảm đáng kể.
Chúng tôi chế tạo các thiết bị này để hoạt động 24/7. Mục tiêu đơn giản thôi: duy trì nhiệt độ ổn định và ngăn chặn các mảnh vỡ lan ra ngoài.