Giữ cho phòng sạch loại Class 100 luôn sạch sẽ
Khi vận hành phòng sạch loại Class 100, ngay cả một hạt bụi nhỏ hay một luồng khí kỳ lạ trong quá trình làm nóng wafer cũng có thể gây ra những hậu quả nghiêm trọng. Hầu hết các bộ phận gia nhiệt thông thường không thể xử lý được tình trạng này. Chúng sẽ giãn nở và co lại khi bị làm nóng, và chuyển động liên tục này sẽ khiến các hạt vi mô thoát ra ngoài. Điều này sẽ ảnh hưởng tiêu cực đến chất lượng sản phẩm của bạn.
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng thủy tinh thạch anh có độ tinh khiết cao cho các bóng đèn IR của mình.
Tại sao thủy tinh thạch anh lại quan trọng?
Chúng tôi chọn thủy tinh thạch anh có hàm lượng tạp chất gần như bằng không. Điều này giúp tránh hiện tượng “bụi bay lên” mà chúng ta thường gặp ở những loại vật liệu rẻ tiền.
Các bóng đèn này sử dụng bức xạ hồng ngoại波 độ ngắn. Thay vì làm nóng toàn bộ không khí xung quanh wafer, năng lượng sẽ được truyền trực tiếp vào bề mặt wafer. Điều này rất quan trọng vì nó giúp giảm bớt các dòng khí tuần hoàn, từ đó tránh việc bụi bay lên mặt wafer. Ngoài ra, thủy tinh thạch anh có tính chất hóa học ổn định; nó sẽ không phản ứng với các khí có mặt trong phòng sạch, nhờ đó wafer sẽ luôn giữ được trạng thái ban đầu.
Chi tiết về thiết kế
Nếu bạn thực hiện công việc phun lớp màng mỏng hoặc khử ẩm, bạn biết rằng độ chính xác là yếu tố quan trọng nhất. Chúng tôi thiết kế các bóng đèn sao cho nhiệt lượng được phân bố đều trên toàn bộ bề mặt wafer. Tùy vào nhu cầu của bạn, chúng tôi có thể sử dụng thủy tinh thạch anh trong suốt để cho phép tối đa bức xạ hồng ngoại đi qua, hoặc chúng tôi có thể phủ lớp phủ đặc biệt để điều chỉnh bước sóng.
Chúng tôi cũng sử dụng các điện cực được mạ vàng hoặc chứa nhiều nicen để ngăn chặn sự oxi hóa ở vị trí kết nối. Nếu vị trí kết nối này bị hỏng, khí halogen sẽ thoát ra và làm cháy sợi dây tóc của bóng đèn. Chúng tôi kiểm soát chặt chẽ các thông số kỹ thuật này để bạn có thể thay thế bóng đèn mà không cần mất quá nhiều thời gian để điều chỉnh lại thiết bị.
Một vài điều cần lưu ý
Những bóng đèn có công suất cao này tạo ra lượng nhiệt rất lớn. Mặc dù wafer nhận được đúng lượng nhiệt cần thiết, nhưng vỏ bóng đèn vẫn sẽ bị ảnh hưởng nghiêm trọng. Bạn cần đảm bảo hệ thống làm mát hoạt động tốt. Nếu dòng khí quá yếu, nhiệt lượng sẽ khiến các bộ phận kết nối bị biến dạng. Để tránh điều này, chúng tôi khuyên bạn nên sử dụng hệ thống làm mát bằng nước lạnh hoặc gió có tốc độ cao. Hãy giữ cho các bộ phận không cần được làm nóng luôn ở trạng thái mát mẻ. Đơn giản thôi!