Hãy ngừng lo lắng về việc đèn bị hỏng trong quy trình chế tạo wafer.
Trong các nhà máy sản xuất chip với công suất cao, việc đèn hồng ngoại bị hỏng không chỉ gây ra tình trạng gián đoạn hoạt động, mà còn là một thảm họa thực sự. Khi ống thủy tinh chứa đèn bị vỡ, những mảnh vỡ và hạt kim loại sẽ bay lan khắp các wafer. Chỉ cần một chiếc đèn bị hỏng thôi cũng có thể phá hủy cả một lô sản phẩm. Chúng tôi đã tìm ra cách giải quyết tốt hơn: chúng tôi bao bọc các đèn hồng ngoại trong những vỏ bằng thép không gỉ được chế tạo riêng cho mục đích này.
Kiểm soát sự lộn xộn
Hãy coi chiếc vỏ bọc này như “vệ sĩ” bảo vệ các wafer của bạn. Chúng tôi sử dụng thép không gỉ chất lượng cao để tạo ra một lớp bảo vệ giữa bộ phận phát nhiệt và các wafer. Nếu đèn bị vỡ do áp lực nhiệt, chiếc vỏ bọc sẽ giữ lại tất cả các mảnh vỡ. Như vậy, không còn mảnh vỡ nào có thể vào khu vực xử lý wafer nữa, và các wafer cũng sẽ không bị hư hại. Điều này giúp giảm bớt gánh nặng cho đội ngũ nhân viên.
Chúng tôi đã dành rất nhiều thời gian để tìm ra độ dày lý tưởng của lớp vỏ bọc này. Nếu quá dày, sẽ gây ra hiện tượng tích tụ nhiệt quá mức. Còn nếu quá mỏng, chiếc vỏ bọc sẽ bị rung động, khiến đèn nhanh hỏng hơn. Đó là một sự cân bằng tinh tế, nhưng phương pháp này rất hiệu quả.
Tính ổn định cũng rất quan trọng
Chúng tôi cũng chú trọng đến các bộ phận hỗ trợ đèn. Nếu đèn bị cong, sẽ tạo ra các điểm nóng, và điều này dẫn đến việc đèn bị hỏng. Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng các bộ phận hỗ trợ được gia công chính xác và các kẹp chịu nhiệt. Bí quyết là: các kẹp này giúp giữ đèn ổn định, nhưng vẫn cho phép đèn giãn nở theo chiều dài khi bị nung nóng. Nếu kẹp quá chặt, đèn sẽ bị vỡ ngay khi công suất được tăng lên.
Những hy sinh cần chấp nhận
Dù vậy, không có gì là hoàn hảo cả. Việc thêm lớp vỏ bọc khiến có một lớp kim loại nằm giữa nguồn nhiệt và các wafer. Bạn sẽ nhận thấy có sự chậm trễ về mặt nhiệt độ so với trường hợp không có vỏ bọc. Bạn có lẽ cần điều chỉnh lại thông số PID hoặc tăng công suất một chút để duy trì tốc độ nhiệt độ ở mức mong muốn.
Tin tốt là: chúng tôi thiết kế những chiếc vỏ bọc này sao cho có thể thay thế ngay lập tức. Bạn có thể thay chúng vào hệ thống hiện có mà không cần phải tháo rời toàn bộ thiết bị. Đây là cách nhanh chóng để giúp bạn yên tâm hơn trong quá trình sản xuất.