ในกระบวนการผลิตด้วยเทคโนโลยีลิโธกราฟีนั้น หากอุณหภูมิของตัวอย่างเปลี่ยนแปลงไปแม้เพียงครึ่งองศาเซลเซียส การสแกนด้วย AFM ก็จะไม่สามารถดำเนินการต่อไปได้ พฤติกรรมของสารโฟโตเรซิสต์ รวมถึงขั้นตอนการอบสารโฟโตเรซิสต์ ล้วนขึ้นอยู่กับอุณหภูมิทั้งสิ้น หากเครื่องทำความร้อนไม่สามารถรักษาอุณหภูมิให้อยู่ในช่วงที่กำหนดได้ด้วยความแม่นยำสูงกว่า 0.1°C ก็แสดงว่าคุณกำลังเดาค่าเท่านั้น ไม่ใช่การวัดค่าที่แท้จริง
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราออกแบบเครื่องทำความร้อนสำหรับ AFM โดยคำนึงถึงสามปัจจัยหลัก ได้แก่ ความเสถียรทางอุณหภูมิ การทำงานในสภาพแวดล้อมที่สะอาด และความสามารถในการทำซ้ำได้อย่างแม่นยำ เครื่องนี้สามารถรักษาอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C ในช่วงอุณหภูมิ 25°C ถึง 300°C โดยมีความแม่นยำสูง โครงสร้างของเครื่องนี้ใช้ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและองค์ประกอบที่สามารถดูดซับแสงอินฟราเรดได้ เพื่อลดการปล่อยก๊าซและการเกิดอนุภาคต่างๆ ส่วนพื้นผิวและการปิดผนึกของเครื่องนั้นถูกออกแบบมาให้เหมาะสมสำหรับการทำงานในสภาพแวดล้อมที่สะอาดระดับ Class 1–100 ทำให้จำนวนอนุภาคอยู่ในระดับต่ำ และไม่มีการปนเปื้อนเกิดขึ้น การควบคุมอุณหภูมิในเครื่องนี้ทำได้อย่างแม่นยำด้วยระบบ PID ทำให้ขั้นตอนการอบสารโฟโตเรซิสต์เกิดขึ้นภายในช่วงที่กำหนดไว้ โดยไม่มีความคลาดเคลื่อน
เหตุใดจึงเหมาะกับกระบวนการทำงานของ AFM ในการใช้งาน AFM นั้น จำเป็นต้องมีอุณหภูมิที่สามารถควบคุมได้อย่างรวดเร็ว และคงที่ รวมถึงสามารถทำความสะอาดอุปกรณ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพระหว่างการทำงานแต่ละครั้ง เครื่องทำความร้อนนี้สามารถปรับอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว และสามารถควบคุมขั้นตอนการอบสารโฟโตเรซิสต์ได้อย่างแม่นยำ ทำให้ลดความจำเป็นในการทำงานซ้ำ และช่วยให้สามารถควบคุมขนาดของวัตถุได้อย่างแม่นยำ นอกจากนี้ ประสิทธิภาพของเครื่องนี้ยังมาจากการออกแบบโครงสร้างที่ดี ทำให้ไม่มีการปล่อยความร้อนส่วนเกินที่อาจส่งผลต่อความแม่นยำของการวัด
สิ่งที่คุณควรทราบล่วงหน้า การติดตั้งเครื่องทำความร้อนนี้จำเป็นต้องมีการปรับให้เข้ากับอินเตอร์เฟซของ AFM และต้องอยู่ในช่วงอุณหภูมิที่เหมาะสม ควรตรวจสอบความเข้ากันได้ของแรงดันไฟฟ้าและขั้วต่อ และควรวางเซ็นเซอร์ให้อยู่ในตำแหน่งที่ไม่รบกวนการทำงานของโปรบ์ สภาพแวดล้อมแบบสุญญากาศหรือสภาพแวดล้อมที่มีการควบคุมอุณหภูมิจะส่งผลต่อการถ่ายเทความร้อน ดังนั้นควรแจ้งข้อมูลเกี่ยวกับสภาพแวดล้อมของห้องทดลองให้ชัดเจน เพื่อให้สามารถปรับการควบคุมอุณหภูมิได้อย่างเหมาะสม ควรมีการทดลองใช้งานเล็กน้อยเพื่อปรับค่า PID ให้เหมาะสมกับตัวอย่างที่ใช้งาน