Op de afdeling voor lithografie leer je al snel dat een temperatuurschommeling van 0,5°C tijdens het verhitten van de fotorezistent kan leiden tot problemen met de precisie van de afbeelding op de wafer. Bovendien kan het voorkomen dat kleine deeltjes veel wafer’s beschadigen. Het verhitten van de wafer’s moet nauwkeurig, snel en consistent plaatsvinden – bij elke cyclus, bij elke lading. Er zijn geen uitzonderingen.
Wat belangrijk is achter de schermen Wij bouwen maatwerk-infraroodverwarmers voor het verwerken van wafer’s. Hierbij worden korte- of middelgolfinstrumenten gebruikt, afhankelijk van de vereisten. In het verhittingsgebied streven we naar een uniformiteit van ±0,1°C, met een reactietijd van minder dan 2 seconden. De warmtepomp bestaat uit kwarts en hoogzuiver keramiek; de verbindingen zijn goed afgesloten om uitstoot en vervuiling te voorkomen.
In zuiverruimtes van klasse 1–100 proberen we de productie van deeltjes zo laag mogelijk te houden. Er is geen directe luchtcirculatie door het hete gebied, en er wordt gebruik gemaakt van een interne trappering om deeltjes op te vangen. De controle vindt plaats via een gesloten regelsysteem, met kalibreerde sensoren die worden vergeleken met de metingen op de wafer. Hierdoor blijven de parameters consistent, van shift tot shift.
Waarom dit belangrijk is bij het verwerken van fotorezistent Nauwkeurige temperatuurcontrole zorgt voor betere controle over de afmetingen van de afbeelding op de wafer en vermindert het aantal herwerkingsstappen. Met een constante temperatuur over de hele wafer en alle apparaten, krijg je een betere verspreiding van de lijndiktes en hoef je minder aan te passingen te doen bij de belichtingssnelheid.
Een snelle thermische respons zorgt ervoor dat de verhittingsschakels korter duren, zonder dat er overschot aan energie wordt gebruikt. Hierdoor wordt de productieverhogd en blijven de films beschermd. Ook de energieverbruik daalt, omdat de stralers alleen het gewenste gebied verwarmen, en niet de hele kamer.
Betrouwbaarheid is eenvoudig: de apparaten kunnen meer dan 5.000 uur draaien met minder dan 5% verlies in prestaties. Het onderhoud bestaat vooral uit het vervangen van lampen op vaste tijdstippen.
Praktische details die je moet overwegen De installatie is specifiek voor elke machine. Er moet eerst een inspectie van de mechanische componenten van de kamer worden uitgevoerd, en er moet ook rekening worden gehouden met de aansluitingen die nodig zijn voor de machine.
Het systeem werkt het beste wanneer de geometrie van de reflectoren en de plaatsing van de sensoren consistent blijven. Het vervangen van individuele componenten zal de uniformiteit verminderen. Voor maximale nauwkeurigheid moet de warmtepomp worden gecombineerd met een speciale controller, en moet er een documentatie van de kalibratieprocedure zijn, die is gekoppeld aan de controles die worden uitgevoerd op de wafer’s.