Op de fabrieksvloer weet je wat op het spel staat
Een temperatuurverandering van 1°C tijdens de soft bake van fotoresist kan een 300mm wafer laten vervallen voordat je zelfs maar aan belichting toe bent. Conventionele verwarmingsplaten hebben moeite met randafrol en thermische vertraging blijft problemen met herhaalbaarheid van partij tot partij veroorzaken. Je hebt een verwarmingsaanpak nodig die gelijke tred houdt met spincoating en op doel landt met lithografie. Wat belangrijk is onder de motorkap We voeren de pre-bake van fotoresist uit met infraroodverwarmers: snelle, radiatieve warmte met nauwkeurige temperatuurregeling. Korte-golf IR-elementen reageren in sub-seconde tijd, waardoor de vertraging die binnen de wafer zorgt voor niet-uniformiteit verdwenen is. De uniformiteit op wafer-niveau bereikt ±0.1°C over het volledige oppervlak, en de herhaalbaarheid van de instelwaarde blijft binnen ±0.2°C van shift tot shift. Deze verwarmers functioneren comfortabel in Class 1–100 cleanrooms, met geen deeltjesuitstoot en lage uitstoot van gassen. Gesloten-lusregeling houdt het thermische budget stabiel, zodat kritische afmetingen binnen specificaties blijven na de soft bake en de daaropvolgende belichting. Waarom dit belangrijk is in het verwerken van fotoresist De soft bake is waar de oplosmiddelverwijdering en filmdruk worden ingesteld. Met IR gaat de energie rechtstreeks in de resist, niet in de drager, waardoor het oplosmiddel sneller verdampt zonder overshoot. Je krijgt consistente dikte, lagere defectdichtheid en schonere lijnrandruwheid. Het systeem draait 24/7 met minimale onderhoudsbehoefte, verbruikt minder energie dan convectietools, en verkort de cyclusduur zonder extra operationele kosten. Waar je op moet letten De prestaties van IR hangen af van emissiviteit en reflectiviteit, dus stapels met een hoog metaalgehalte kunnen behoefte hebben aan herkalibratie van de instelwaarde en een herverdeling van de zone-energie. Installatie vereist een duidelijke zichtlijn en schone uitlijning om warme plekken te vermijden. Er is een korte inbedrijfstellingstijd nodig om de emissiviteit in kaart te brengen en de zoneprofielen af te stemmen, maar eenmaal dat gedaan, opent het procesvenster zich en blijven de bakes stabiel en herhaalbaar, dag na dag.