Op de productielijn wordt de kwaliteit van het fotorezerverproces niet alleen beoordeeld op basis van de temperatuur. Er wordt ook gekeken naar de beschikbare tijd, het aantal deeltjes dat vrijkomt, en de consistentie van de CD-waarden over duizenden wafers heen. Als de verwarmingseenheid faalt, stopt de productie – en verlies je zowel producten als energie.
Wat we hebben gebouwd, en waarom dat belangrijk is
We hebben deze verwarmingseenheid gebouwd met behulp van een kortegolf-infraroodelement en een thermische structuur gemaakt van kwarts. Hierdoor kan er een constante temperatuur worden behouden van ±0,1°C. Het apparaat is ontworpen voor gebruik in een schone ruimte van klasse 1–100: er zijn afgesloten verbindingen en een ontwerp dat zorgt voor minimale uittreding van gassen, zodat er geen deeltjes worden gegenereerd.
De temperatuurrepetitiebleek goed te zijn, zowel bij zachte als harde verhittingstechnieken. Hierdoor blijven de expositietijden constant, zelfs na veel cycles. Het apparaat is ontworpen om 24/7 te werken, zonder onvoorziene storingen. De levensduur van het apparaat wordt verlengd door de corrosiebestendige constructie en een gecontroleerde thermische gradient, waardoor er minder spanningen optreden.
Waarom dit belangrijk is in de litografie
Bij litografie bepaalt de verhittingstemperatuur de stroom van het fotorezerver, de hoeveelheid resterende oplosmiddelen en de selectiviteit bij het etchen. Met dit apparaat kun je consistente verhittingspatronen gebruiken, waardoor er minder herwerk nodig is en de controle over de CD-waarden verbetert.
Ook de energieverbruik neemt af. Het apparaat bereikt snel de gewenste temperatuur en houdt die vast, zodat de kosten per wafer lager uitvallen. minder vervangingen betekent ook minder onderbrekingen in het proces.
Wat je moet doen bij installatie en gebruik
Tijdens de installatie is het belangrijk om het apparaat precies te aligneren met het hotplate-oppervlak, en om gebruik te maken van geschikte stroom- en controlekabels. Onjuiste kabelverbindingen kunnen storingen veroorzaken die zich uitdrukken in problemen met de consistentie van de temperatuur.
Het apparaat presteert het beste wanneer de luchtcirculatie in de kamer stabiel is en de omgevingstemperatuur binnen de voorgeschreven grenzen ligt. Het is belangrijk om regelmatig te kalibreren om de gewenste consistentie van ±0,1°C te behouden. Onze apparaten hebben al tienden van duizenden uren lang stabiel gefunctioneerd, zonder enige storingen.