Kijk maar naar een wafer die uit het laatste reinigingsproces komt: dan weet je dat de tijd dringt. Als de hitte te laat wordt toegepast of niet gelijkmatig is, zul je snel watervlekken en andere problemen zien. We hebben infraroodverwarmers ontwikkeld om deze problemen te voorkomen.
Wat belangrijk is onder de motorkap
We gebruiken korte-golflengte-infraroodemitters in een compacte kwartsconstructie. Hierdoor vindt er directe energietransfer plaats, met weinig thermische massa. Dit zorgt voor een snelle reactie en nauwkeurige controle. Tijdens het drogen blijft de temperatuur op het oppervlak van de wafer binnen een bereik van ±0,1°C.
De controle vindt plaats via een gekalibreerde sensor, en niet via de wanden van de kamer. Op deze manier blijft de repetitiebaarheid consistent van batch tot batch. De verwarmers zijn geschikt voor gebruik in schone kamers, met een klasse van 1–100. De oppervlakken zijn zo geselecteerd dat er zo min mogelijk deeltjes worden gegenereerd en er minder gasen vrijkomen. De output blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% afwijking in intensiteit.
Waarom dit werkt in lithografie en fotorezystverwerking
In lithografie en fotorezystverwerking is de thermische balans erg belangrijk. De vereiste temperaturen moeten precies worden gehaald om de kwaliteit van het product te behouden. Onze infraroodverwarmers drogen de wafers snel, zonder dat de temperaturen te hoog worden. Hierdoor blijft de integriteit van het fotorezyst behouden en kan de breedte van de lijnen nauwkeurig worden geregeld.
Je krijgt dus snelheid, zonder dat de uniformiteit wordt beïnvloed. Bovendien neemt het energieverbruik af, omdat de hitte precies daar terechtkomt waar het nodig is. Dit resulteert in een stabiele aantal defecten, voorspelbare resultaten en minder herwerkwerk.
Nog wat details over de installatie
Voor de installatie zijn specifieke toleranties nodig, en moet de luchtcirculatie goed worden gecontroleerd. Het behalen van een uniformiteit van ±0,1°C vereist een stabiele luchtvloeiing en het voorkomen van storingen in de luchtcirculatie. De verwarmers kunnen worden geïntegreerd in standaard halfgeleiderapparatuur, maar er moet nog wel rekening worden gehouden met de ruimte die beschikbaar is, de thermische belasting en de positie van de sensoren.
De verwarmers hebben een lange levensduur, maar de temperatuursensor moet wel regelmatig worden gekalibreerd. Dit zorgt ervoor dat de gewenste uniformiteit over tijd behouden blijft.