Op de productielijn is een verschil van 0,5°C tijdens het verhitten van de fotoresist voldoende om een goede productiebatch in afval te veranderen. De wafers moeten dan wachten. De planning loopt op achterstand en het aantal deeltjes neemt toe. We hebben een heater ontwikkeld die dit soort problemen voorkomt, nog voordat ze zich zelfs maar manifesteren.
Wat technisch gezien belangrijk is
Het hart van het systeem is een kwarts gebaseerde infrarode heater die is afgestemd op de thermische eisen van de lithografie- en droogprocessen. Op deze manier blijft de temperatuur over de hele wafer constant binnen een marge van ±0,1°C, gemeten met gekalibreerde thermokoppen. De heaters reageren snel en nauwkeurig, zodat de parameters voor het verhiten consistent blijven, ongeacht de batch.
Het apparaat is geschikt voor gebruik in een schone ruimte, met een klasse van 1–100. Het is gemaakt van materialen die weinig gassen afgeven en heeft een geometrie die het ontstaan van deeltjes voorkomt. Dit zorgt er juist voor dat de productiekwaliteit hoog blijft.
Waarom het in de praktijk werkt
Bij het verwerken van fotoresist heeft de temperatuurnauwkeurigheid invloed op de kwaliteit van het product. Onze heater stabiliseert de temperatuur in de hete zone, waardoor er minder fouten optreden. De mogelijkheid om in een schone ruimte te gebruiken en het gebrek aan deeltjes zorgen ervoor dat de defectdichtheid laag blijft. Bovendien zorgen stabiele en herhaalbare processen voor kortere verwerkingstijden en minder energieverbruik.
Wat je moet weten
Voor de installatie is nauwkeurige alignering met de proceskamer noodzakelijk, evenals een goede thermische verbinding. De heater presteert het beste wanneer deze is afgestemd op de thermische eigenschappen van de kamer en de luchtcirculatie. Een onjuiste afstemming zal leiden tot ongelijkmatigheden in de temperatuur.
Het is belangrijk om de heater elke 2.000 uur te kalibreren en reserveonderdelen klaar te hebben. Ze zijn nodig wanneer je ze het meest nodig hebt. We specificeren de soort connector, de spanning en de afmetingen, zodat de heater goed kan worden geïntegreerd. Echter, de installatie is nog steeds een gezamenlijke verantwoordelijkheid.