웨이퍼 처리 과정에서 발생하는 적외선 램프의 고장 걱정을 그만하세요.
대량 생산이 이루어지는 반도체 제조 공정에서 적외선 램프가 고장나는 것은 단순한 가동 중단 문제가 아닙니다. 그것은 진짜 재앙입니다.
쿼츠 튜브가 파손되면, 더 이상 작동하지 않을 뿐만 아니라, 유리 조각들과 미세한 입자들이 웨이퍼 위에 흩뿌려집니다. 하나의 고장 난 램프만으로도 전체 생산 물량이 망가질 수 있습니다. 우리는 이 문제를 해결하기 위해 적외선 램프를 특수한 스테인리스 스틸로 만든 케이스에 넣는 방법을 찾아냈습니다.
오염을 막는 방법
이 케이스는 마치 웨이퍼를 보호하는 ‘보디가드’와 같습니다. 우리는 고급 스테인리스 스틸을 사용하여 가열 요소와 웨이퍼 사이에 물리적인 장벽을 만듭니다.
만약 램프가 열应력으로 인해 파손된다 해도, 케이스가 그 파편들을 가두어줍니다. 그래서 파편들이 처리 구역으로 들어가지 않고, 웨이퍼도 손상되지 않습니다. 또한, 작업자들도 덜 스트레스를 받게 됩니다.
우리는 벽의 두께를 정확하게 조절하는 데 많은 시간을 들였습니다. 너무 두꺼우면 열량이 너무 많아지고, 너무 얇으면 케이스가 진동하여 램프가 더 빨리 고장납니다. 정말 섬세한 균형이 필요하지만, 이 방법은 효과적입니다.
안정성이 중요합니다
또한, 램프를 지지하는 부품도 중요합니다. 만약 램프가 처진다면, 과열 현상이 발생하고, 그로 인해 램프가 파손됩니다.
이를 해결하기 위해 우리는 정밀하게 가공된 지지대와 내열성이 뛰어난 클립을 사용합니다. 핵심은, 클립이 램프를 안정적으로 고정시키면서도, 램프가 가열될 때 길이가 늘어나도록 하는 것입니다. 만약 클립을 너무 단단히 고정하면, 전력을 높일 때 램프가 즉시 파손됩니다.
타협점
물론, 완벽한 것은 없습니다. 케이스를 추가함으로써 열원과 웨이퍼 사이에 금속층이 생깁니다. 그래서 열 전달 속도가 약간 느려집니다. 따라서 PID 설정을 조정하거나 전력을 조금 높여야 합니다.
하지만 좋은 점은, 이 케이스들은 기존의 램프들을 대체할 수 있다는 것입니다. 전체 장비를 분해할 필요 없이 간단히 교체할 수 있습니다. 이렇게 하면 훨씬 더 안심할 수 있습니다.