클래스 100 수준의 깨끗한 환경을 유지하는 방법
클래스 100 환경에서는 아주 작은 먼지 조각 하나라도 문제가 됩니다. 그것은 단순한 성가심이 아니라 치명적인 문제입니다. 만약 가열 요소에서 먼지나 가스가 발생한다면, 그건 마치 쓰레기를 그대로 내버려두는 것과 같습니다.
일반적인 코일이나 저가형 세라믹 히터는 이러한 상황에 적합하지 않습니다. 이러한 히터들은 먼지를 내보내거나 가스를 방출하기 때문에 모든 것을 망쳐버립니다. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다.
석영이 효과적인 이유
우리는 엄청나게 순도가 높은 융합 실리카를 사용합니다. 가장 큰 장점은, 온도가 높아져도 기체가 배출되지 않는다는 것입니다. 석영관은 텅스텐 필라멘트를 완전히 감싸주어, 어떤 것도 밖으로 나오지 않습니다. 금속 산화물 입자도, 예상치 못한 문제도 없습니다.
게다가 이 램프들은 대류가 아닌 복사 방식을 사용합니다. 따라서 작업물 주위에 공기가 흐르지 않아, 그 성가신 먼지들이 그 자리에 그대로 남아 있습니다.
능력과 단점
이 램프들은 매우 높은 와트 밀도를 가지고 있습니다. 이렇게 설계된 이유는 장비가 방의 절반을 차지하지 않도록 하기 위함입니다. 전압을 높이면 즉시 열이 발생합니다. 이 덕분에 PID 제어가 더욱 정확해집니다. 목표 온도에 도달하는 데 몇 초밖에 걸리지 않습니다. 정말 빠릅니다.
하지만 단점도 있습니다. 엄청난 열로 인해 석영관에 엄청난 부담이 가해집니다. 만약 고정용 브라켓이 약간 비뚤어 있거나, 관을 너무 세게 누르면 석영관이 깨질 수 있습니다. 그러니 반드시 장비가 석영관이 팽창할 수 있는 공간을 제공하도록 해야 합니다.
램프를 장비에 설치하는 방법
이 램프들은 그냥 교체용으로 설계되었습니다. 별다른 번거로움이 없습니다. 표준 커넥터를 사용하기 때문에 간단하게 연결할 수 있습니다. 맞춤형 납땜 작업을 할 필요가 없으므로, 납이나 플럭스로 인한 오염 걱정도 할 필요가 없습니다. 석영 표면도 매끄럽게 처리되어 있어, ‘핫 스팟’이 생기는 것을 방지합니다. 그래서 300mm 웨이퍼가 전체 표면에 고르게 가열됩니다.
마지막 팁: 전원 공급 장치에 주의하세요. 전압이 급격히 변동하면 필라멘트가 더 빨리 손상될 수 있습니다. 전압을 안정적으로 유지해야 합니다. 그러면 이 램프들도 오랫동안 사용할 수 있습니다.