מנורת אינפרא אדום מצופה זהב לשימוש בחצאי מוליכים
למה אנו משתמשים בנורות אינפרא-אדום מצופות זהב לייבוש של חומרים חצי-מוליכים
עולם החומרים החצי-מוליכים משתדל כמה שיותר להימנע משימוש בחומרים המכילים...
נורה עם שתי צינורות מצופה בזהב
למה למנורות אינפרא-אדום בעלות ציפוי זהב הן חשובות כל כך לתהליך הייבוש של רכיבים אלקטרוניים
עולם הרכיבים האלקטרוניים משתדל בכל כוחו להשתמש בשיטות...
ראש סיליקוני לגלאי אינפרא אדום
שמירה על חדר נקי מסוג Class 100 נקי אכן אם אתם מנהלים חדר נקי מסוג Class 100, אתם כבר יודעים שמסנני האוויר הם רק חלק מהפתרון. הבעיה האמיתית נמצאת...
תנור לחדרים נקיים מחמם באמצעות אינפרא אדום
עצרו את השברים: שמירה על חדר הניקיון שלכם מפני כישלונות במערכות החימום אם אתם מבצעים ייצור בעומס גבוה, אתם מכירים את הסצנה הקשה הזו – לפתע, כשנורה...
מנורת אינפרא אדום לשולחן בחדר נקי
שמירה על בטיחות בשימוש בחום בחדרי ניקוי כימי בואו נהיה כנים: הצבת נורות אינפרא-אדום ממש מעל שולחן הניקוי הכימי זה כמו לשחק עם אש. יש לנו מקור חום...
מפעל לייצור נורות אינפרא אדום מסיבי פחמן
הפסיקו לחכות לחימום החדר – יתרונותיהן של למפות אינפרא-אדום מפיבר פחמן
עדיין רואים יותר מדי מפעלי שבבים שמשתמשים בשיטת חימום באמצעות אוויר חם. אל...
מנורת אינפרא אדום עמידה בפני מים לשטיפה
כיצד למקסם את יעילות תהליך הרחצה וייבוש הוופרים שלכם כאשר אתם מנהלים תהליך רחצה, המטרה ברורה: להפוך את הוופר ליבש לחלוטין, במהירות, מבלי לגרום לחימום...
רכיב חימום באמצעות אינפרא אדום לתיבת הכפפות
חימום הקופסה שלכם מבלי לגרום לפיצוץ בואו נהיה כנים: הכנסת מחמם אינפרא-אדום לתוך קופסה שמכילה חומרי ניקוי דליקים זו פעולה מסוכנת מאוד. ניצוץ קטן או...
נורה אינפרא אדומה עם מחזיר אור מזהב
שמירה על חדר הניקיון מסוג Class 100 נקי לחלוטין אם אתם מפעילים חדר ניקיון מסוג Class 100 (ISO 5), אתם בוודאי יודעים עד כמה זה מאתגר. גרגיר אבק קטן או...
חיממן אינפרא אדום לחדר נקי
עצרו את השברים: כיצד להתמודד עם פיצוץ הנורות במערכות חימום אינפרא-אדום אם אתם מייצרים שבבי סיליקון בכמויות גדולות, אתם מכירים את הבעיה הזו. כשנורה...
חיממן באינפרא אדום תואם לשימוש בוואקום
כיצד למנוע את הרס הנורות של מכשירי החימום בוואקום הבעיה עם שימוש במכשירי חימום בוואקום היא שהפיזיקה משתנה. באוויר רגיל, הגזים שנמצאים סביב הנורה...
מחמם לייצור ננו צינורות פחמן
יצירת ננו-צינורות פחמן (CNTs) דורשת איזון מסוים. יש צורך בטמפרטורה מדויקת, אך בדרך כלל זה נעשה בתוך מיכלי ניקוי כימיים. זו הנקודה שבה הדברים נעשים...
מחמם אינפרא אדום לתא ואקום
שליטה נכונה בטמפרטורה במפעל חכם אם אתם בונים מפעל חכם לתעשייה 4.0, כנראה שכבר הבנתם שהשיטות המסורתיות לשליטה בטמפרטורה כבר לא מספיקות. אותם מחממים...
חיממן לשבבים חסכוני באנרגיה
חדלו לבזבז את החום שלכם: מדוע מחזירי החום מזהב חשובים כל כך בתהליך עיבוד השבבים, כל ואט שנבזבז הוא בעצם בזבוז של כסף. גרוע מכך, החום העודף עלול לפגוע...
ביקורת אנרגטית לייבוש במפעל
הפחתת פליטות הפחמן במפעלי שבבים: למה ייבוש באמצעות אינפרא-אדום כן עובד בואו נהיה כנים לגבי מפעלי שבבים – חשבונות האנרגיה שלהם הם אדירים. אחד הגורמים...
מחמם לייבוש שבבי חיישני MEMS
עצירת השברים: שמירה על נקיון שבבי ה-MEMS שלכם במפעלי MEMS, למנורות אינפרא-אדום שפועלות בעוצמה גבוהה יש השפעות שליליות רבות – הן יכולות לגרום לנזק...
זוג תרמו חשמלי לחימום של שבבים
שמירה על האינטגריטי של החומרים הדיאלקטריים בתרמוקפלים של החימום כאשר מדובר בחימום באמצעות שבבים, “מספיק קרוב” אינו מספיק. יש צורך בדיוק מושלם. אנו...
ייצור חיישנים ביולוגיים באמצעות נורות אינפרא אדום
עצרו את הסכנה של נורה פגומה שעלולה להרוס את כל המוצרים שלכם בייצור של חיישנים ביולוגיים, הדבר החשוב ביותר הוא הדיוק. אך יש בעיה אחת קשה: אם נורה אחת...
שדרוג ציוד לחדרים נקיים במפעל
שמירה על סביבת העבודה שלכם נקייה לחלוטין בסביבה מסוג Class 100, אפילו גרגיר אבק קטן יכול להוות בעיה חמורה – הוא עלול לגרום לנזקים חמורים. אם הרכיבים...
חיישן אינפרא אדום בעל דיוק גבוה לשבבים
שמירה על חדר הניקיון מסוג Class 100 נקי לחלוטין כאשר מנהלים חדר ניקיון מסוג Class 100, גרגיר אבק קטן או ענן גז קטן במהלך חימום הווופר אינו רק מטרד –...
מרחק הבטיחות לחימום הוופר
חדלו לחמם את המכשיר שלכם – והתחילו לחמם את הוופר כאשר אתם מגדירים את תנאי החימום של הוופר, אתם רוצים שהאנרגיה תגיע ישירות אל הסיליקון. זה הכל. אתם לא...
ייצור מעטפת של חיממים מפלדה אל חלדית
הפסיקו לדאוג בנושא פגמים בנורות האינפרא-אדום בתהליך ייצור הוופרים שלכם
במערכות ייצור של שבבים בהיקף גדול, נזק לנורות האינפרא-אדום אינו רק בעיית שהייה...
נורת חימום UHP (טהורות גבוהה במיוחד)
למה אנחנו עוברים סוף סוף לשימוש בנורות אינפראאדום בעלות רמת טוהר גבוהה בואו נהיה כנים: השיטה הישנה לייבוש וחימום של חומרים חצי-מוליכים היא די...
בקר מייבש אינפרא אדום דיגיטלי
הפסיקו לחמם את האוויר: דרך טובה יותר לטפל בעומסי החום בואו נהיה כנים: תנורים תרמיים רגילים הם בעצם מקורות אנרגיה עצומים. במפעלי שבבים, יש צורך להסיר...
מחזיר אלומיניום לנורת תרמיים
תפסיקו לבזבז חום: מדוע מחזירי אור מאלומיניום מדויקים הם כה חשובים אם אתם מנהלים מפעל לייצור שבבים, אתם מכירים את האתגרים. אתם נאבקים כל הזמן בבעיית...
מחזיר אור לנורת ייבוש הוואפרים
בואו נדבר על בטיחות חשמלית בתהליך ייבוש הוופרים.
כאשר מייבשים וופרים, יש צורך בשני דברים: חום שמתפשט באופן אחיד, וחוסר מוחלט בדליפות חשמליות. כדי...
פתרונות לייצור בר קיימא
שמירה על הבטחון בזמן חימום חומרים כימיים רגישים אם אתם מנהלים מפעל לייצור שבבים, אתם יודעים אילו אתגרים קיימים. שלבי הניקוי מהווים מקור סיכון גדול –...
אריזה של חיישנים חכמים לגלי אינפרא אדום
שמירה על חדר הניקיון מסוג Class 100 נקי לחלוטין כאשר אתם מעצבים חיישנים מתוחכמים, “כמעט נקי” אינו מספיק. יש צורך ברמת ניקיון מושלמת – אפס זיהום. זה...
חימום באמצעות שבבים לחיסכון באנרגיה
למה אנו עוזבים את התנורים הגדולים לטובת טיפול באמצעות קרינת אינפרא-אדום עולם השבבים סוף סוף עוזב את התנורים הישנים האלו. הסיבה העיקרית היא שכולנו...
חיממן לתאי ניקוי של חומרים אלקטרוניים
הקדמה בואו נדבר על מחמם העגלה בחדרי הניקיון הקפדניים. בעולם עיבוד השבבים, מדובר לא רק במכשיר שמחמם את האוויר – זהו מכשיר חיוני, שמהווה חלק בלתי נפרד...
חיישן טמפרטורה לכלי עבודה עם שבבים
חימום אינפרא-אדום ממוקד: כיצד אנו שומרים על חום הכלים במקומות הנדרשים – מבלי לפגוע במפעילים
הבעיה בציוד לייצור שבבים היא פשוטה: החום העודף הוא “גנב”....
חוט טפלון לחימום של שבבים אלקטרוניים
שמירה על חדר הנקיות שלכם נקי – פשוט כך.
זו המציאות בתחום השבבים: בחדר נקיות מסוג Class 100, גרגיר אבק אחד יכול להרוס הכל. לכן, כאשר צריך חום גבוה, אי...
ייצור סרט תרמי בטמפרטורות גבוהות
הקדמה
הסיבה היחידה שבגללה יצרנו את נורות החימום האלו היא לאפשר עבודה בתנאי חום קיצוניים ובקצב עבודה לא מתפשר. אלו אינן רק חלקים זמינים בשוק – הן...
מחמם למיקרוסקופ כוח אטומי (Atomic Force Microscope)
בתהליך הליתוגרפיה, סריקה באמצעות AFM אינה אפשרית אם טמפרטורת הדגימה משתנה אפילו בחצי מעלה. התנהגות הפוטורזיסט – תהליכי החימום השונים ושליטה בממדים של...
פנל חימום אינפרא אדום מקרמי
בקו הייצור, תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו דבר שניתן לוותר עליו – זו נקודת המפתח בתהליך. חימום לא מדויק, אפילו במעט, עלול לגרום לשינויים בממדים...
רכיב החימום של Oxford Instruments
בתהליך הליתוגרפיה, לומדים מהר ששינוי של חצי מעלה בטמפרטורה יכול לגרום להזזה של ה-CDים. אם משתמשים בטמפרטורה גבוהה מדי, עלולים להיווצר פגמים וירידה...
חיממן אינפרא אדום מותאם אישית לוופרים
בתהליך הליתוגרפיה, לומדים במהירות כי שינוי של 0.5°C בטמפרטורה במהלך תהליך החימום יכול לפגוע באיכות התוצר. בנוסף, קיומם של חלקיקים יכול לפגוע בהרבה...
רכיב חימום לעיבוד שבבים
בחדר הייצור, שינוי של 0.5°C בטמפרטורת החימום של הפוטורזיסט יכול להפוך את המוצר הטוב לפסולת. הוופרים נשארים במקומם ומחכים. לוחות הזמנים משתנים, ומספר...
ייבוש מסך החיבור לוופרה
בשלב ייבוש מסכת החימום, מדובר לא בתהליך של חימום איטי. זו תנאי הכרחי, פשוט וברור. שינוי של 1.5°C עלול לגרום לאי-אחידות בעובי החומר על הוואפר, וכתוצאה...
נורה אינפרא אדומה ללא אוזון
בקו הייצור, שינוי של מספר מעלות בתנאי החימום עלול לפגוע בשליטה בממדים החיוניים של הווה-פיים, לגרום לעלייה ברמת הפוטורזיסט, ולהפוך וה-פיים איכותיים...
מגן זכוכית קוורץ למנורת ייצור
בקו ייצור שפועל 24/7, הנורה לא פשוט נעצרת כשהיא נהרסת – הרצף התרמי נשבר, פרופילי הפוטורזיסט משתנים, וכך נוצרת הצורך בעבודות תיקון. מגן הקוורץ הוא...
מחמם איכותי לייבוש חומרי פוטורזיסט
בקו הייצור, לא מעריכים את איכות חימום הפוטורזיסט על סמך הטמפרטורה בלבד. מעריכים אותה על סמך זמן הפעולה היעיל, מספר החלקיקים שנוצרים, ועקביות ה-CD...
מחמם אינפראאדום לייבוש וופרים
כשרואים איך הוופר יוצא מתהליך השטיפה האחרון, אפשר לדעת שהזמן עובר. אם החום מגיע באיחור או שהוא לא אחיד, נראות סימני מים, והאיכות של הוופר יורדת...
הפחתת אנרגיה בייבוש במפעלי ייצור
על רצפת המפעל, כל וואט שהמערכת לייבוש שואבת עובר בדיקה מדוקדקת. עלויות האנרגיה אינן יכולות לעלות עד לנקודה שבה נצטרך להסתכן בשלמות הפוטורזיסט. אם...
נורת הלוגן עבור מערכת RTP
On the fab floor, thermal budget isn’t a suggestion—it’s the contract. A half-degree swing across the wafer is enough to move critical dimensions,...
מצפן חימום ואקום של לייבולד
במשרד הייצור, סטייה תרמית בתהליך האפייה הרכה או הקשה לא רק פוגעת בתפוקה — היא הורסה. כאשר מחמם ואקום Leybold מתחיל לגלוש, פרופילי הפוטורזיסט...
מחמם אינפרא אדום לקדם אפיית פוטורזיסט
על רצפת הייצור, אתה יודע מה ההשלכות. שינוי של 1°C במהלך האפייה הרכה של הפוטורזיסט יכול לגרום לפסילה של ופר 300 מ"מ לפני אפילו החשיפה. פלטות חמות...
החלפת מנורה של Mattson RTP
כשהמנורה נכשלה בכלי ה-RTP של Mattson, זה לא רק זמן השבתה. אתה מפסיד תקציב חום, פרופיל האפייה על הפוטו-רסיסט נדחף, ואתה פתאום מתמודד עם חריגה של...
נורת חילוף לליתוגרפיה של ASML
על רצפת המפעל, תקלה במנורה אינה עצירת ייצור – זו פסולת. כאשר מנורת הליטוגרפיה של ASML מתחילה להחלש בביצועים, אפיית הרכה מתנדנדת, בקרת רוחב הקווים...