שמירה על חדר הניקיון מסוג Class 100 נקי לחלוטין
כאשר מנהלים חדר ניקיון מסוג Class 100, גרגיר אבק קטן או ענן גז קטן במהלך חימום הווופר אינו רק מטרד – זו קטסטרופה. רוב רכיבי החימום הרגילים אינם מסוגלים להתמודד עם זה. הם מתרחבים ומתכווצים בעת החימום, ותנועות אלו גורמות לשחרור של חלקיקים זעירים. זה יכול לפגוע קשות באיכות המוצר.
אנו פותרים בעיה זו על ידי שימוש בקוורץ סינתטי בעל טוהר גבוה לייצור הפנסים שלנו.
למה הקוורץ חשוב?
אנו משתמשים בסיליקה מותכת שאינה מכילה כמעט שום חומרים מזהמים. זה מונע את התופעה המעצבנת של היווצרות אבק, שקיימת בחומרים זולים יותר.
הפנסים האלו משתמשים בקרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים. במקום לחמם את כל האוויר סביב הווופר, האנרגיה מגיעה ישירות לפני השטח. זה חשוב מאוד, כיוון שזה מפחית את זרמי האוויר שגורמים להעלאת אבק מהרצפה אל הוופר. בנוסף, הקוורץ הוא חומר אינרטי מבחינה כימית – הוא לא מגיב עם הגזים הקיימים בחדר, כך שהוופר נשאר במצבו התקין.
פרטים טכניים על העיצוב
אם אתם מבצעים תהליכי הטמעת שכבות דקות או ייבוש, אתם יודעים שהדיוק הוא הכל. אנו בונים את הפנסים האלו כך שהחום יהיה אחיד בכל שטח הוופר. בהתאם לצרכים שלכם, ניתן להשתמש בקוורץ שקוף כדי לאפשר מעבר מרבי של קרינת אינפרא-אדום, או להוסיף שכבות מיוחדות כדי לשנות את אורך הגל.
אנו גם משתמשים באלקטרודות מצופות זהב או ניקל למניעת חמצון בנקודות החיבור. אם החיבורים האלו נהרסים, גז ההלוגן יצא החוצה, והפילמנט של הפנס יישרף במהירות. אנו שומרים על רמת דיוק גבוהה, כך שניתן להחליף את הפנס בקלות, בלי לבזבז שעות על כיול מחדש.
דברים שצריך לשים לב אליהם
פנסים אלו יוצרים כמות עצומה של חום. בעוד שהוופר מקבל את החום הדרוש לו, המארז של הפנס עלול להינזק. חיוני לוודא שהאוויר הקר מגיע לחלקים הנכונים. אם זרם האוויר חלש מדי, החום עלול לגרום לעיוות בחלקים השונים של הפנס. כדי למנוע זאת, אנו ממליצים על שימוש במערכת קירור מיוחדת או באוויר בלחץ גבוה. פשוט מאוד.